일반기술

평판 구조물의 구부러짐을 이용한 대 회전가 초소형 거울

* 원리 및 구성 본 기술은 표면 미세 가공 기술로 제작되는 초소형 평판 구조물의 구부러짐을 이용하여 큰 회전각을 얻을 수 있는 초소형 거울을 제시한다. 기판 위에 위치하여 정전인력을 발생하도록 하는 구동전극과 구동 전극 상부에 위치하여 정전 인력에 의한 구동력의 작용으로 회전축을 중심으로 회전운동 하는 가동 평판 구조물, 가동 평판 구조물의 구부러짐을 용이하게 하기 위해서 회전축과 교차하여 구조물의 하부에 위치한 돌기로 이루어진 평판 구조물의 구부러짐을 이용한 대 회전각 초소형 거울은 일반적으로 사용되고 있는 정전인력에 의한 구동방식의 초소형 거울 구조에 돌기를 추가하여 가동 평판 구조물이 원활하게 구부러지도록 하여 두께를 조절할 수 있게 하였다. * 개발 배경 일반적인 초소형 거울의 회전각은 가동 평판 구조물 길이와 가동 평판 구조물과 바닥면 사이의 간격에 의해 결정되는데, 큰 회전각을 얻기 위해서는 가동 평판 구조물과 바닥면 사이의 간격을 충분히 확보하여야 한다. 그러나 이 간격은 희생층 두께에 의해 제한되며 큰 회전각을 위해서는 두꺼운 희생층 두께가 필요로 하는 경우, 원하는 두께의 희생층을 성막하는 것이 용이하지 않다는 문제가 있고 또한, 두꺼운 희생층을 사용할 경우 고정부 형성에 의한 큰 단차로 인해 이후 거울로 사용될 가동 평판 구조물의 형성이 어렵게 되는 문제점이 있었다. * 중요성 및 독창성 본 기술은 지금까지 제시된 MEMS 기술을 이용한 기존의 초소형 거울의 구조들로는 큰 회전각이 요구되는 응용에서 간단한 구조로 쉽게 제작할 수 있고 신뢰성 있는 동작이 가능한 초소형 거울을 구현하기가 어렵기 때문에 가동 평판 구조물의 구부러짐을 이용하여 기존의 반도체 공정만을 사용하여 단순한 기계적 구조와 간단한 공정으로 제작될 수 있다.* 적용제품 및 경쟁제품 기존의 초소형 거울의 구조로는 간단한 구조의 큰 회전각이 요구되는 초소형 거울 제작이 어려웠으나 본 기술에 의해 큰 회전각이 요구되는 디스플레이, 스캐너, 광 파이버 스위치 소자, 바코드 판독기 등에 사용할 수 있는 평판 구조물의 구부러짐을 이용한 대 회전각 초소형 거울을 제조하였다.* 주요 적용 제품- 큰 회전각을 갖는 초소형 거울 * 특징 및 장점- 단순한 구조로 쉽게 제작할 수 있다.- 간단한 공정으로 신뢰성 있는 제품을 제작할 수 있다.