일반기술

나노 슬라이드가 결합된 나노 탐침 어레이

본 기술은 나노 슬라이드가 결합된 나노 탐침 어레이(Nano-slide integrated Nano-probe array)는 베이스에 형성된 복수개의 관통홀의 상부에 마련된 나노미터 너비를 갖는 복수개의 개구, 복수개의 개구들을 덮도록 베이스 위에 결합된 광학적으로 투명한 나노미터 단위의 두께를 갖는 제1 슬라이드를 포함하여, 각 개구들을 통해 순차적으로 또는 동시에 시료의 근접장 광검출을 할 수 있도록 된 것을 특징으로 한다.나노미터 너비를 갖는 복수개의 개구 위에 나노미터 두께의 슬라이드가 형성되어 슬라이드에 나노 구조의 시료를 쉽게 올려놓고 각 개구에서 순차적으로 또는 동시에 시료의 근접장 광학정 특성을 측정하게 된다. 제작이 용이하고 구조가 간단한 나노 탐침 어레이를 제공할 수 있고, 이 나노 탐침 어레이를 이용하여 대면적 주사가 가능하며, 이층 구조의 나노 탐침 어레이를 이용하여 분해능을 향상시킬 수 있다.- 본 기술에 따른 나노 탐침 어레이를 이용하여 순차 또는 동시에 각 탐침에서의 근접장 광검출을 할 수가 있게 되므로, 분자, 세포, 반도체 양자 구조, 금속 입자 등과 같은 다수의 나노 구조 물질을 근접장 광학 탐침에 직접 결합시켜 근접장 광학 특성을 측정한다.- 본 기술에 따른 나노 탐침 어레이에서의 개구를 통한 온-오프 동작에 의하여 나노 구조 물질을 이용하는 광소자 제작이 가능하다.- 나노 구조 물질을 이용한 광소자의 다중 신호 처리를 가능하게 하고 예를 들어 광 모듈레이터, 광 인터커넥터 광 스위치 등과 같은 광소자에 적용이 가능하다.- 2중 구조의 나노 탐침 어레이에서 하부 나노 탐침 유닛과 상부 나노 탐침 유닛의 개구가 맞주 보는 양역의 면적을 조절함으로써 분해능을 향상 시키게 된다.