일반기술

마이크로 채널이 결합된 나노 탐침 장치

본 기술은 마이크로 채널이 결합된 나노 탐침 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 마이크로 채널을 통해 흐르는 유체 내의 나노 구조의 시료에 대한 광학적 특성을 관측할 수 있도록 된 나노 탐침 장치에 관한 것이다. 베이스에 형성된 적어도 하나의 관통홀의 상부에 구비된 나노미터 단위의 너비를 갖는 적어도 하나의 개구,적어도 하나의 개구를 덮도록 베이스 위에 결합된 광학적으로 투명한 나노미터 단위의 두께를 갖는 슬라이드, 슬라이드 상부에 결합되어 내부에 시료가 포함된 유체가 흐르도록 된 마이크로 채널을 포함하고, 적어도 하나의 개구를 통해 순차적으로 또는 동시에 시료의 근접장 광검출을 할 수 있도록 된 것을 특징으로 한다.본 기술에 따른 마이크로 채널이 결합된 나노 탐침 장치에 의하면, 유체 내에 존재하는 시료를 마이크로채널을 통해 흐르게 하고 개구를 통해 광신호를 순차적으로 혹은 동시적으로 측정함으로써 유체 내에 있는 생체 시료를 살아 있는 상태(in vivo)로, 또한 유체 내에 존재하는 분자 및 나노구조 물질은 시료가 만들어진 상태 그대로 근접장 광학 특성의 관측이 가능하며, 이를 이용한 바이오 광소자로의 응용이 가능하다.또한, 본 나노 탐침 장치에서는 마이크로 채널을 간단하게 나노 슬라이드에 형성하는 것이 가능하고, 탐침을 시료에 근접시키는 작업이 필요 없이 개구를 통해 바로 시료의 광학적 특성을 관측할 수 있다. 뿐만 아니라, 슬라이드에 의해 시료와 탐침 사이의 거리가 자동으로 유지되므로, 탐침과 시료 사이의 거리를 일정하게 유지하기 위한 장비가 별도로 구비될 필요가 없다. 따라서, 나노 탐침 장치의 전체적인 구조가 단순화되고, 소형화될 수 있다.본 기술에 따른 마이크로 채널이 결합된 나노 탐침 장치는 일반적인 반도체 공정을 통해 용이하게 제조될 수 있고, 이에 따라 제조 비용이 절감될 수 있다.