일반기술

고주파용 연자성 다층박막의 제조방법

*원리 및 구성고주파용 연자성 다층박막의 제조하는 방법에는 미세결정구조를 가지고 있는 박막을 교대로 적층시키는 방법이 있다. 본 기술은 이와 같은 다층박막을 만드는 경우에 분위기 가스로 수소, 아르곤의 혼합가스를 이용해 다층박막의 연자기적 특성을 향상시킴으로서 고주파에서도 사용가능한 연자성 다층박막을 제조할 수 있도록 하였다.*개발배경최근의 자기기록 매체는 고밀도화를 위해서 결정립 크기를 작고 균일하게 만들어 각각의 결정립들을 가능한 자기적으로 분리시켰다. 그러나, 자기기록 매체의 결정립 크기가 작아질수록 결정립 간의 교환결합이 발생하여 정확한 기록이 어려웠다*중요성 및 독창성본 기술은 수소 및 아르곤 혼합가스를 분위기 가스로 사용하여 기판 상부에 Fe 및 CoNbZr과 같은 미세결정구조를 갖는 박막을 교대로 적층시켜 다층박막을 제조함으로서, 연자기적 특성을 향상시켜 고주파에서도 사용가능한 연자성 다층박막의 제조한다. 이와 같이 제조된 다층박막은 포화자속을 고밀도로 유지하고, 고주파수 대역에서도 큰 투자율을 유지한다.*적용제품본 기술을 이용한 다층박막은 고주파수 대역에서도 높은 포화자속밀도를 지니며, 고밀도의 기록 및 재생, 고주파의 데이터 전송에 적용될 수 있고, 자기헤드, 센서, 변압기 또는 인덕터의 재료로 사용되어 Fe계 다층 박막의 미세구조의 조절이 가능하도록 한 다.*특징 및 장점- 고주파수 대역에서도 큰 투자율을 유지하여 높은 포화자속밀도를 갖는다.- 다층박막에 고밀도의 기록 및 재생이 가능하도록 한다.- 고주파의 데이터 전송에 대응하기 위한 재료로 활용될 수 있다..- 고주파수 대역에서도 큰 투자율을 유지한다.