일반기술

주사 전자현미경내에서의 마찰 마멸 실험 및 가시화를 구현한 마이크로 트리보 테스터

* 원리 와 구성 시편을 설치하는 디스크가 설치된 핀 온 디스크장치와 시편의 상태를 검출하는 신호출력장치로 이루어진 셈과 신호출력장치와 연결되어 검출된 신호를 숫자로 출력하는 데이터출력장치로 이루어진 주사전자현미경내에서의 마찰 마멸 실험 및 가시화를 구현한 마이크로 트리보 테스터에 있어서, 디스크를 저속으로 회전시키는 디스크회전수단과 디스크회전수단의 상부에 설치된 시편과 접촉하는 핀을 고정하면서 스테이지가 삽착되는 스테이지고정부를 형성하여 셈의 내부에 설치되는 핀 고정부와 신호출력장치에 의해 검출된 신호를 영상과 데이터로 출력하는 디스플레이수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 주사전자현미경내에서의 마찰 마멸 실험 및 가시화를 구현한 마이크로 트리보 테스터이다. * 개발배경종래에는 셈(SEM)의 스테이지(stage)를 움직이기 위해서는 직접 손으로 잡고 돌리는 방식으로 디스크를 회전시켜 저속을 구현하였으나 이러한 경우 안정된 정상 상태의 속도를 유지한다고 할 수 없으며, 두 상대 운동을하는 물질간에 생기게 되는 마멸 입자들의 움직임이나 마멸 입자가 생겼을 때의 핀의 움직임 등을 관찰하기 위해서는 마멸 입자가 생길 때까지 일정하게 속도를 유지해야 하는데 이러한 경우 손으로 제어한다는 것은 불가능하다. 또한, 마찰과 마멸 현상을 마찰력의 변화, 마찰계수의 변화, 마멸양의 측정 등을 통해 예측하게 됨으로 정확한 데이터 를 산출하기가 어려운 문제점이 있었다. 또 다른 문제점으로는 핀과 디스크 위의 시편간에 일어나는 현상을 관찰할 수 없다는 한계도 있었다* 중요성및 독창성핀 회전수단을 디스크와 연결 설치하여저속회전이 가능하도록 하고 셈 내부의 스테이지 상부에 핀 고정부를 설치하여 시편과 소정의 각도를 형성하도록 하여 핀과 디스크 접촉점에서 일어나는 현상을 실시간으로 관찰할 수 있는 주사전자현미경내에서의 마찰 마멸 시험장치를 제공* 적용제품 및 관련시장주사전자현미경* 주요적용제품마이크로 트리보 테스터* 특징및 장점주사전자현미경내에서의 마찰 마멸 시험장치에 관한 것으로서 핀 회전수단을 설치하여 디스크가 저속회전이 가능하도록 함과 셈 내부의 스테이지 상부에 핀 고정부를 설치하여 시편과 소정의 각도를 형성하도록 하여 핀과 디스크 접촉점에서 일어나는 현상을 실시간으로 관찰할 수 있도록 한 것이다. 시편을 설치하는 디스크가 설치된 핀 온 디스크장치와 시편의 상태를 검출하는 신호출력장치로 이루어진 셈과 신호출력장치와 연결되어 검출된 신호를 문자로 출력하는 데이터출력장치로 이루어진 주사전자현미경내에서의 마찰 마멸 측정장치에 있어서, 디스크를 저속으로 회전시키는 디스크회전수단과 저속으로 회전하는 디스크의 상부에 설치된 시편과 접촉하는 핀을 고정하면서 스테이지가 삽착되는 스테이지 고정부를 형성하여 셈의 내부에 설치되는 핀 고정부와 신호출력장치에 의해 검출된 신호를 영상과 데이터로 출력하는 디스플레이수단을 포함하여 이루어진 특징이 있다.