일반기술

산화티타늄 광촉매의 제조방법

고효율의 산화티타늄 광촉매를 제조하는 방법이 개시된다. 산화티타늄 광촉매의 제조방법은 산화티타늄의 박막성장 전 플라즈마 처리를 통해 유리를 표면개질 시키고, <112> 방향을 우선방향으로 성장시킴으로서 다공질의 원주형 구조로 산화티타늄을 제조하여 광촉매 특성을 극대화시키는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면 간단한 공정을 통해 <112> 방향으로 우선배향하고 있는 산화티타늄 박막을 제조할 수 있으며, 본 발명에 따라 제조된 산화티타늄 광촉매는 박막이 수직으로 성장되었기 때문에 동일한 양을 증착시켰을 경우 박막의 두께가 두꺼울 뿐만 아니라 매우 넓은 면적의 다공질 구조이므로 산화티타늄 광촉매의 효율이 증가하는 장점을 가지고 있다.산화티타늄 광촉매의 쓰임새가 늘어가고 있는 현재 이 발명은 가스공급관을 통해 공급되는 플라즈마화 기체 및 산소를 RF 플라즈마 생성기에 유입시키는 단계 상기 플라즈마화 기체를 RF 플라즈마 생성기를 사용하여 플라즈마화하고 반응온도 250∼410℃의 반응기(5)에 유입시키는 단계 상기 플라즈마를 이용하여 유리 기판의 표면을 개질하는 단계 및 증발기 내에 있는 유기티탄화합물을 가열에 의해 증기화하고 상기 반응기로 유입시켜 증착시키는 단계를 포함하는 여러 과정을 거쳐 생성되는 산화티타늄 광촉매의 제조방법이다.