일반기술

내부 반사식 미세 간격 측정장치 및 이를 이용한 광픽업 장치

본 기술은 광기록 매체와 근접장 기록/재생 방식의 광학계 사이의 간격을 측정하는 장치에 관한 것이다.광원, 광원과 광기록 매체 사이에 배치되어 광원에서 나온 빔이 입사하는 제1면과 광기록 매체에 대향하는 광학계의 최종면과 일치하도록 광기록 매체에 대향하는 제2면과 제2면에서 전반사된 빔이 출사하는 제3면을 포함하는 베이스 프리즘, 베이스 프리즘의 제3면에서 나온 빔의 광량을 검출하는 광검출기를 포함하며, 광원에서 나와 베이스 프리즘의 제1면에서 굴절하는 빔은 베이스 프리즘의 제2면에서 전반사되어 제3면에서 출사되거나, 제2면에서 소실파(evanescent wave)가 되어 출사하고, 베이스 프리즘과 광기록매체 사이의 미세 간격이 커지게 되면 광검출기에서 검출되는 광량이 커지게 되고, 미세 간격이 작아지게 되면 소실파가 많아지고 전반사되는 광량이 적어져 광검출기에서 검출되는 광량이 적어지게 되는 내부 전반사식 미세 간격 측정 장치이다.내부 전반사식 미세 간격 측정 장치와 이를 이용하는 광픽업 장치는 광원과 광기록 매체 사이에 배치되어, 광원에서 나온 빔이 입사하는 제1면과, 광픽업 광학계의 광기록 매체 대향면과 일치하도록 광기록 매체에 대향하는 제2면과, 제2면에서 전반사된 빔이 출사하는 제3면을 포함하는 베이스 프리즘을 포함하여 빛이 베이스 프리즘 내부에서 전반사하는 광량의 변화에 의하여 고체 침지 렌즈를 포함하는 광학계와 광기록 매체 사이의 미세 간격을 측정할 수 있다.- 고체 침지 렌즈의 평면과 일치하는 면을 가진 베이스 프리즘 내에서의 내부 반사를 이용하여 나노미터 이하의 해상도를 가지고 광학계와 광기록 매체 사이의 미세 간격을 측정하는 것이 가능하다,- 고체 침지 렌즈와 광기록 매체의 굴절률 및 베이스 프리즘의 굴절률, 형상 등의 설계 변수를 조정하여 용이하게 원하는 작동 범위를 얻을 수 있다.- 미세 간격 측정 장치에 사용하는 베이스 프리즘을 고체 침지 렌즈와 일체형으로 하여 정렬 및 조립이 용이하며, 베이스 프리즘으로 입사각 및 출사삭을 조정함으로써 광원, 검출기의 위치 조절이 용이하기 때문에 다영한 광학계에 용이하게 적용하는 것이 가능하다.