일반기술

나노선과 나노튜브 표면에 원자층 증착방법을 사용하여알루미나 박막을 코팅하는 방법

*원리 및 구성본 기술의 방법을 살펴보면, 우선 기판 상부에 나노선과 나노튜브를 수직방향으로 성장시켜야 하며, 원자층 증착방법을 이용하여 성장된 나노선 표면과 나노튜브에 알루미나 박막을 코팅시킨다. 이러한 기술을 응용하면, 원자층 증착방법을 수행할 때 전구물질로 Trimethy aluminum 과 물을 이용하여 여러 가지 종류의 나노선과 나노튜브의 표면을 일정한 두께의 알루미나 박막으로 코팅하는 복잡한 공정도 수행할 수 있다.*개발배경기존의 알루미나 박막 성장 방법들은 평평한 기판위에 얇은 알루미나 박막을 증착시킬 때 사용하는 방법이므로, 이와 같은 방법을 이용해서 나노선이나 나노입자 등과 같은 임의의 모양을 갖는 물체의 표면을 일정한 두께의 박막으로 증착시키기는 불가능하였다.*중요성 및 독창성본 기술은 나노 단위의 지름을 갖는 반도체 나노선과 나노튜브의 표면에 나노 두께의 알루미나 박막을 균일하게 코팅시키는 방법에 관련된 기술이다. 이와 같이 원자층 증착방법을 이용해 알루미나 박막을 코팅하는 과정을 거침으로서, 나노선을 이용한 나노 메모리 소자에서 알루미나 박막이 캐패시터 유전체 물질과 게이트 옥사이드로서 활용가능하며, 이렇게 나노선에 균일하게 증착된 알루미나 박막은 여러 가지 나노 전자소자의 표면을 보호하는 역할도 수행한다.*적용제품본 기술의 반도체 나노선과 나노튜브의 표면에 나노 두께의 알루미나 박막을 균일하게 코팅시키는 방법으로 알루미나 박막을 균일하게 코팅할 수 있으며, 따라서 향후 나노 광학소자나 나노 전자소자의 제작에 나노선과 나노튜브들이 다양한 기능의 구성 물질로 활용될 수 있다.*특징 및 장점- 반도체 나노선과 나노튜브의 표면에 나노 단위의 두께를 갖는 알루미나 박막을 균일하게 코팅할 수 있다.- 나노 메모리 소자에서 코팅된 알루미나 박막이 캐패시터 유전체 물질과 게이트 옥사이드로 작용할 수 있다.- 다양한 나노 전자 소자의 표면을 보호한다.- 나노 광학소자나 전자소자에 다양하게 활용될 수 있다.