일반기술

나노튜브 제작 방법

*원리 및 구성본 기술은 일정한 모양과 크기를 가지는 단면의 나노선을 이용하여 원하는 모양과 내부 크기를 갖는 나노튜브를 제작하는 기술이다. 나노선 상부에 원자층 증착방법(ALD)을 사용하여 나노선 표면, 즉 쉘 물질이 균일한 두께를 가지도록 알루미나 박막을 코팅시켜 코어/쉘 구조의 나노화이버를 제작하고, 제작된 나노 화이버를 에쳔트에 담그는 에칭처리를 하여 나노선 코어 물질만을 식각함으로서 나노튜브를 형성한다. *개발배경기존의 알루미나 박막 성장 방법들은 평평한 기판위에 얇은 알루미나 박막을 증착시킬 때 사용하는 방법이므로, 제작된 나노튜브의 표면이 균일하지 못하고, 두께 및 지름을 필요에 따라 조절하는 것이 불가능하여 여러 가지 불편함이 있었다. 따라서, 향후 나노소자의 응용에 나노 튜브로 인해 많은 한계점이 예상되었다. *중요성 및 독창성본 기술은 원자층 증착방법(ALD) 및 코어 물질과 쉘 물질의 에칭속도 차이를 이용하여 나노튜브를 제작하여 필요에 따라 나노 튜브의 모양과 내부 크기, 두께를 원하는 대로 제작할 수 있다. 따라서, 본 기술은 기존에 비하여 훨씬 쉽고 편리한 방법으로 나노튜브를 제작할 수 있는 방식이며, 또한, 나노선에 다양한 물질을 코팅시켜 다양한 나노튜브의 제작이 가능하고, 저가의 제작비용에 비해서 좋은 특성을 갖는 나노튜브의 대량 생산도 가능하므로 경제적으로 큰 기대 효과가 있다.*적용제품본 기술은 나노튜브를 제작하여 필요에 따라 나노 튜브의 모양과 내부 크기, 두께를 원하는 대로 제작할 수 있는 방법으로, 향후 나노 광학소자나 나노 전자소자의 제작에 나노선과 나노튜브들이 다양한 기능의 구성 물질로 활용될 수 있다.*특징 및 장점- 나노 튜브 단면의 모양과 크기, 두께를 원하는 대로 제작할 수 있다.- 다양한 물질을 나노선에 코팅시켜 다양한 나노튜브를 만들 수 있다.- 제작비용이 저렴한 것에 반해, 제품의 특성은 좋다.- 좋은 품질의 나노튜브을 대량 생산할 수 있다.- 나노 광학소자나 전자소자에 다양하게 활용될 수 있다.