일반기술

실린더 형태의 게이트를 갖는 나노 전자소자의 제조 방법및 나노 전자소자

*원리 및 구성실리콘 기판 상부에 두 개의 전극을 만들고, 형성된 전극이 서로 연결될 수 있도록 그 상부에 반도체 나노선을 연결한다. 연결된 반도체 나노선 상부에 원자층 증착방법을 사용하여 산화물을 균일하게 코팅함으로서 실린더 형태의 게이트 물질을 형성한다. 이렇게 산화물이 코팅된 반도체의 나노선 상부에 금속을 증착시켜 게이트를 형성하면 본 기술의 나노소자를 제조하게 되는 것이다. *개발배경기존의 알루미나 박막 성장 방법들은 평평한 기판위에 얇은 알루미나 박막을 증착시킬 때 사용하는 방법이므로, 제작된 나노튜브의 표면이 균일하지 못하고, 두께 및 지름을 필요에 따라 조절하는 것이 불가능하여 여러 가지 불편함이 있었다. 따라서, 향후 나노소자의 응용에 나노 튜브로 인해 많은 한계점이 예상되었다. *중요성 및 독창성본 기술은 반도체 나노선이나 탄소나노튜브 및 유기튜브를 이용하여 실린더형 게이트를 형성시켜 동작 속도의 증가 및 채널의 길이를 조절할 수 있는 나노 전자소자를 제조하는 것과 관련된 기술이다. 이렇게 제조된 나노소자는 실린더 형태의 게이트를 가지기 때문에 기존의 싱글 게이트나 더블 게이트와 비교하여 전자가 이동할 때 발생하는 표면 산란을 현저히 줄여 소자의 동작 속도를 증가시키는 효과가 있으며, 전극 사이의 길이와 채널의 길이를 조절할 수 있다.*적용제품본 기술은 기존에 비하여 소자의 동작 속도가 향상된 나노튜브를 제작할 수 있는 방식으로, 좋은 특성을 갖는 나노튜브의 대량 생산도 가능하다. 또한, 이렇게 만들어진 나노선이나 나노튜브로 실린더형 게이트를 구성함으로서 향후 나노 광학소자나 나노 전자소자를 제조할 수 있다.*특징 및 장점- 나노선이나 나노 튜브로 만들어진 실린더형 게이트로 나노소자를 형성한다.- 전자가 이동할 때 형성되는 표면 산란을 줄이는 효과가 있다.- 소자의 동작 속도를 증가시킨다.- 채널의 길이를 조절할 수 있다.- 저렴한 제작비용에 비하여 제품의 특성이 좋다.- 나노 광학소자나 전자소자에 다양하게 활용될 수 있다.