일반기술

초고순도 탈이온수 생산을 위한 질코늄을 기초로 한 실험 설비의 개발

초고순도 탈이온수의 품질은 미세 전자제품의 생산에 있어 결정적으로 중요하다. 탈이온수 생산을 위해서 현재 사용되고 있는 설비는 주로 고분자 물질 재료로 되어 있는데 여러 가지 결점이 있다. 이 고분자 물질 재료들은 그 속에 포함된 물질과는 물론 중합체 분해물질과도 함께 물을 오염시킨다. 그것으로 장치가 제작되는 고분자 물질들은 미생물의 번식을 위한 영양분 매체이다. 공기로부터의 산소는 고분자 물질 재료로 된 설비의 벽을 통하여 물 속으로 확산한다. 고분자 물질 재료로 된 설비를 소독하는 것이 어렵다. 왜냐하면 세척용액과의 반응에 의해서 예를 들면 과산화수소와 반응하면 고분자 물질이 분해되기 때문이다. 고분자 물질로 된 설비의 전체적인 운전 수명은 중합체의 노화 때문에 부스러지기 쉬워 일반적으로 짧다.설비는 고품질 탈이온수 생산을 위한 기술 개발에 관한 각종 실험작업의 수행에 요구되는 연구장치임