일반기술

텅스텐-텔루라이트 유리박막의 제조 방법 및텅스텐-텔루라이트 유리박막을 갖는 광대역 평판형 증폭기

원리 및 구성광대역 평판형 증폭기에 관한 것으로, 본 기술에 따른 텅스텐-텔루라이트 박막유리의 제조방법은 텔루르 옥사이드 (Tellurium (VI) oxide)와 텅스텐 옥사이드 (Tungsten (VI) oxide)로 고상소결법을 이용하여 텔루르 옥사이드와 텅스텐옥사이드의 조성비가 70:30인 타겟을 제조하는 단계, 아세톤, 메틸알콜, 에틸알콜 및 증류수를 이용하여 모재를 세척하는 단계, 아르곤(Ar)과 산소(O2)를 이용하여 실리콘 기판상에 증착시켜 막을 현성하는 단계를 포함하며 챔버 안의 압력을 3×10-6 torr로 하는 것을 특징으로 하고 모재는 실리콘 기판 또는 코닝유리를 포함하여 이루어진다. 개발배경광대역 증폭기에서 열특성이 우수한 유리박막을 제공하고, 열특성이 우수한 유리 박막을 갖는 광섬유 증폭기를 제공함에 있다.중요성 및 독창성본 기술은 텅스텐-텔루라이트 유리박막의 제조 방법 및 텅스텐-텔루라이트 유리박막을 갖는 광대역 평판형 증폭기를 제공할 수 있다.응용분야본 기술은 광대역 평판형 증폭기 제조 방법에 응용 가능하다.특징 및 장점-광대역 증폭기에서 열특성이 우수한 유리박막을 제공하는 장점이 있다. -텅스텐-텔루라이트 유리박막은 980nm의 파장 대역의 광신호를 펌핑할 수 있으며, 열손상에 강한 광학적 특성을 갖는다