일반기술

층밀리기 간섭을 이용한 광부품 검사 장치

* 원리 와 구성 층밀리기 간섭 신호를 이용하여 광부품의 특성을 측정하는 광부품 측정 장치로서, 피검 부품을 통과한 광의 광축에 수직한 면에 대해 소정 각도로 기울어진 적어도 하나의 반사면을 갖는 적어도 하나의 쐐기형 프리즘을 구비하여 반사면으로부터 반사된 광에 의한 간섭 신호를 얻도록 된 것을 특징을 하는 광부품 검사 장치이다. 광 부품 검사 장치는 층밀리기 간섭 방법을 이용한 고정밀도의 광학적인 평가가 가능하여 최대값과 최소값의 차이를 가지는 표면 정밀도와 광학적인 수치를 측정할 수 있다. * 개발배경종래의 층밀리기 간섭계는 평판의 두께가 얇을수록 좀더 소형의 광부품에 대한 검사가 가능하다. 하지만, 평판을 얇게 제작하는 것이 어렵고, 이에 따라 얇은 평판은 평판의 정밀도가 떨어지는 현상이 초래된다. 한편, 평판의 두께가 두꺼우면 평판의 두께보다 작은 소형 부품을 통과시킨 광선으로는 간섭 무늬를 얻는 것이 불가능하다. 따라서, 평판에 의한 간섭 무늬를 이용하여 부품의 특성을 측정하는 것은 부품의 소형화 및 고정밀도화 추세에 적합하지 않다.* 중요성및 독창성고체쵤상소자를 고정하고 측정시 광부품의 회전 및 틸트(Tilt) 등의 기구적인 변화를 주지 않으면서 X, Y 양쪽 방향의간섭 무늬를 얻도록 함으로써 측정의 신뢰도를 향상시킨 광부품 검사 장치를 제공며 또한, 광원이 내장된 부품의 측정이 가능하고 별도의 기준 반사면이 필요치 않은 층밀리기 간섭계의 장점을 유지하는 저가격의 비접촉식 광부품 검사 장치를 제공한다.* 적용제품 및 관련시장광부품의 정밀도나 수차를 측정할 수 있는 광부품 검사 장치* 주요적용제품광부품의 정밀도나 수차를 측정할 수 있는 광부품 검사 장치* 특징및 장점광부품 검사 장치는, 피검 부품을 통과한 광을 반사 또는 투과시키는 빔스프리터, 빔스프리터에 의해 반사된 광의 광축에 수직한 면에 대해 소정 각도로 기울어진 반사면을 적어도 하나 갖는 적어도 하나의 X방향 층밀리기용 쐐기형 프리즘, 빔스프리터에 의해 투과된 광의 광축에 수직한 면에 대해 소정 각도로 기울어진 반사면을 적어도 하나 갖는 적어도 하나의 Y방향 층밀리기용 쐐기형 프리즘을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이와 같은 구성에 의해 측정도의 신뢰도를 향상시키고, 기구적으로 진동에 매우 강하도록 구조를 개선하여 대량의 양산부품의 평가에 적합하도록 한 것이다.