일반기술

음향광학편향기와 선주사 카메라를 이용한 공초점 레이저선주사 현미경

* 원리 와 구성 광원, 빔 확장기, 주사장치, 결상광학계부, 주사광학계부를 구비하며 빔 확장기는 광원으로부터 조사된 빔의 공간여과(SPATIAL FILTERING)를 한 후, 빔의 단면을 알맞은 모습으로 변형 확장시키고, Z축에 대해서 평행으로 진행하는 빔을 만들며, 주사장치는 빔확장기로부터 Z축에 대해 평행으로 진행하는 빔을 입력받아, XY면에 일정하게 반복 편향되는 빔을 발생시키고 주사광학계부는 주사장치로부터 XY면에 일정하게 반복 편향되는 빔을 입력하여, 샘플에 선주사하며 샘플에 의하여 산란된 빔을 다시 입력하여 XZ평면에서 광로를 따라 평행하게 진행하는 빔을 생성하고 주사장치는 주사광학계부로 부터의 XZ평면에 평행한 빔이 입사하여, X축 방향과 평행인 편광 빔을 생성하고 결상광학계부는, 주사장치를 통해, 샘플에서 반사된 X축 방향과 평행인 편광 빔을 입력받아, 샘플의 정보에 대한 영상을 형성하는 공초점 레이저 주사 현미경에있어서, 주사장치는 적어도 음향광학편향기를 구비하며, 결상광학계부는 적어도 선주사 카메라를 구비하는 것을 특징으로 한다. * 개발배경레이저 주사 현미경은 입사빔의 파장과 주사속도에 제한을 받으며, 니코우 디스크방식을 이용한 기계식 주사현미경은 다파장의 백색광원을 사용하나 광원의 손실이 커서 신호대 잡음비가 감소된다. 또한 레이저 주사 현미경 및 기계식주사현미경 둘다는 입사빔과 광검출기 사이의 동기화를 해야하며 이를 위한 별도의 장비가 요구된다.* 중요성및 독창성음향광학편향기와 선주사 카메라를 이용한 고속 공초점 레이저 선주사 현미경을 제공한다.또한 공초점 레이저 주사 현미경에 있어서 보다 빠른 실시간 영상 획득 속도를 가지는 영상 형성 장치 및 방법을 제공한다.* 적용제품 및 관련시장공초점 레이저선주사 현미경* 주요적용제품음향광학편향기, 선주사 카메라* 특징및 장점공초점 레이저 선주사 현미경은, 광원, 빔 확장기, 주사장치, 결상광학계부, 주사광학계부를 구비하며 빔 확장기는 광원으로부터 조사된 빔의 공간여과를 한 후, 빔의 단면을 알맞은 모습으로 변형 확장시키고, Z축에 대해서 평행으로 진행하는 빔을 만들며 주사장치는 빔확장기로부터 Z축에 대해 평행으로 진행하는 빔을 입사하여, XY면에 일정하게 반복 편향되는 빔을 발생시키고 주사광학계부는 주사장치로부터 XY면에 일정하게 반복 편향되는 빔을 입력하여, 샘플에 선주사하며 샘플에 의하여 산란된 빔을 다시 입력하여 XZ평면에서 광로를 따라 평행하게 진행하는 빔을 생성하고 주사장치는 주사광학계부로 부터의 XZ평면에 평행한 빔이 입사하여, X축 방향과 평행인 편광 빔을 생성하고 결상광학계부는, 주사장치를 통해, 샘플에서 반사된 X축 방향과 평행인 편광 빔을 입력받아, 샘플의 정보에 대한 영상을 형성하는 공초점 레이저 선주사 현미경에있어서, 주사장치는 적어도 음향광학편향기를 구비하며, 결상광학계부는 적어도 선주사 카메라를 구비하는 것을 특징으로 한다.