일반기술

나노 탐침 반사를 이용한 근접장 파면 측정 간섭계

본 기술은 나노 탐침 반사를 이용한 근접장 파면 측정 간섭계 발명은 피검 물질에 광을 조사하는 광원, 광원으로부터 조사된 광을 분할하는 빔스프리터, 광원에서 조사된 후 피검 물질을 통과한 광을 반사시키는 광학 탐침, 피검 물질로부터 반사된 광과 상기 광학 탐침에서 반사된 광을 간섭시켜 간섭 무늬를 촬영하고, 위상 천이된 간섭 무늬를 촬영하는 고체촬상소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 위상 천이를 이용한 광학 측정 장치이다.위상 천이를 이용한 광학 측정 장치는, 피검 물질에 광을 조사하는 광원, 광원으로부터 조사된 광을 분할하는 빔스프리터, 광원에서 조사된 후 상기 피검 물질을 통과한 광을 반사시키는 광학 탐침, 피검 물질로부터 반사된 광과 광학 탐침에서 반사된 광을 간섭시켜 간섭 무늬를 촬영하고, 위상 천이된 간섭 무늬를 촬영하는 고체촬상소자를 포함한다.반사형 광학 탐침을 구비하여 피검 물질에서 반사된 광과 광학 탐침에서 반사된 광의 간섭 무늬를 얻고, 이 간섭 무늬를 위상 천이시켜 피검 물질의 광학적 특성을 측정할 수 있다.