일반기술

티아이 에이엘 에스아이 엔계 경질코팅막의 증착방법

* 배경 현대 산업사회의 기술이 고도화및 고정밀화됨에 따라 다양한 제조및 가공 산업분야에서도 생산성을 높이기 위한 노력들이 계속되고 있다. 이에 따라 고속도공구나 초경합금공구 등의 절삭공구, 금형 및 기계부품 등에는 표면처리를 통해 우수한 내마모성, 내산화성, 인성, 고온 안정성 및 내구성을 갖도록 하는 Ti-Al-Si-N계의 경질 코팅막의 적용이 요구되고 있다. *원리 및 개요본 기술의 증착방법은 AIP법과 스퍼터법의 하이브리드 공정을 통해 복잡한 형상을 갖는 금형, 고속도공구나 초경합금공구 등에 균일한 표면 도포성을 갖는 초고경도의 TI-AL-SI-N계 경질코팅막을 입힐 수 있다.*특징 1) 금형, 공구 등이 설치된 챔버내에 진공을 가하고 가열하는 제1 단계2) 상기 챔버내에 AR가스를 유입하고 바이어스를 인가하여 상기 금형, 공구 등을 세정하는 제2 단계3) 챔버내로의 AR가스 유입을 차단하고 챔버내를 재차 진공을 가하고 가열하는 제3 단계4) 챔버내에 AR가스 및 N2가스를 유입하고 바이어스를 인가하는 제4 단계5) AIP법을 사용하는 TI-AL 타겟과 스터퍼법을 사용하는 SI 타겟에 전원을 각각 인가하여 금형, 공구 등의 표면에 TI-AL-SI-N계 경질코팅막을 증착하는 제5 단계*장점 및 효과1) AIP법과 스퍼터법의 하이브리드 공정을 통해 복잡한 형상을 갖는 금형, 고속도공구나 초경합금공구 등에 균일한 표면 도포성을 갖는 초고경도의 Ti-Al-Si-N계 경질코팅막을 증착할 수 있다.2) AIP법에 적용하기 어려운 세라믹 타겟을 스퍼터법에 사용하고 다른 타겟을 AIP법에 사용함으로써 다원계 및 다층박막 합성도 가능하다.3) 금형, 고속절삭공구, 베어링, 바이트, 드릴, 엔드밀 등 복잡한 형상의 표면에 초고경도의 Ti-Al-Si-N계 경질코팅막을 증착함으로써 공구의 수명을 연장함과 아울러, 다방면의 고부가가치 기술산업에 적용할 수 있는 효과가 있다.