일반기술

금속/반도체 나노막대 이종구조를 이용한 전극 구조물 및그 제조 방법

*원리 및 구성금속/반도체 나노막대 이종구조를 이용한 전극 구조물 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 소정의 기재 위에 성장된 반도체 나노막대와, 반도체 나노막대의 소정부위에 증착된 금속으로 나노막대와 금속 사이에서는 일함수 차이와 계면 특성에 따라 접촉 저항이 작은 오믹(Ohmic) 특성 또는 정류특성을 보이는 쇼트키(Schottky) 특성이 나타나도록 구성하였다. *개발배경산화아연 반도체 나노막대의 특정 부위에 나노미터 크기의 금속을 선택적으로 증착시키고, 증착된 금속 물질의 일함수와 금속/산화아연의 계면 특성을 적절히 조절해 줌으로써, 접촉저항이 적은 오믹(Ohmic) 전극이나, 정류 특성을 보이는 쇼트키(Schottky) 전극을 형성시켜 이들 전극을 나노 크기의 쇼트키 다이오드를 포함한 다양한 전자 소자, 광소자 및 이들의 어레이에 적용할 수 있도록 한 금속/반도체 나노막대 이종구조를 이용한 전극 구조물 및 그 제조 방법을 제공하고자 한다. *중요성 및 독창성쌓아가기 방식으로 나노소자를 제조하기 위해서는, 원하는 기능을 충족시켜 줄 수 있는 나노구조물을 단일 소재안에 구현할 수 있는 기술개발이 필수적이므로, 접촉저항이 적은 오믹(Ohmic) 전극이나, 정류 특성을 보이는 쇼트키(Schottky) 전극을 형성시켜 이들 전극을 나노 크기의 쇼트키 다이오드를 포함한 다양한 전자 소자, 광소자 및 이들의 어레이에 적용이 가능하다.* 응용분야접촉저항이 적은 오믹(Ohmic) 전극이나, 정류 특성을 보이는 쇼트키(Schottky) 전극을 형성시켜 이들 전극을 나노 크기의 쇼트키 다이오드를 포함한 다양한 전자 소자, 광소자 및 이들의 어레이에 적용할 수 있도록 한 금속/반도체 나노막대 이종구조를 이용한 전극 구조물 등에 응용이 가능하다.*특징 및 장점-접촉저항이 적은 오믹(Ohmic) 전극이나, 정류 특성을 보이는 쇼트키(Schottky) 전극을 형성시켜 이들 전극을 나노 크기의 쇼트키 다이오드를 포함한 다양한 전자 소자, 광소자 및 이들의 어레이에 적용할 수 있도록 하는 이점을 제공한다.