일반기술

마이크로 액츄에이터를 구비한 엑스선 마스크 장치

*원리 및 구성X-선 마스크를 직접 구동시킬 수 있도록 X-선 마스크에 액츄에이터를 내장한 마스크 장치와 이를 이용한 3차원 구조물에 관한 것으로, 마스크부는 기판 위에 얇은 멤브레인 구조물이 형성되고 그 위에 형성된 X-선 흡수체를 가미며, 마스크 홀더부는 마스크부를 지지하기 위해 설치된다. 여러 탄성지지체 각각은 마스크부를 마스크 홀더로부터 자유자재로 요동할 수 있도록 마스크부와 마스크 홀더부 사이에 설치되고, 마이크로 액츄에이터부는 마스크부 외측과 마스크 홀더부 내측에 각각 다수개의 빗형상체(comb)로 이루어진 전극을 상호 이격된 거리를 두고 교차되게 형성하여 전극에 인가된 전기력에 의해 미소 변위생성능력을 발생시켜 마스크의 위치를 정밀하게 제어할 수 있다.*개발배경X-선 마스크를 직접 구동시킬 수 있도록 X-선 마스크에 액츄에이터를 내장한 마스크 장치와 이를 이용한 3차원 구조물 제조방법을 제공하기 위한 것이다.*중요성 및 독창성본 기술은 X-선 노광공정 중 마이크로 액츄에이터부를 작동시켜 감광막에 조사되는 X-선량을 조정함으로써 임의의 3차원 구조물, 예를 들면 임의의 기울기를 갖는 경사면 형상, 임의의 높이를 갖는 단차 형상, 임의의 곡률을 갖는 곡면형상 또는 임의의 경사면, 곡면, 단차의 조합형상 등을 구현이 가능하다.*응용분야방사광 가속기의 X-선(ray)을 이용하는 LIGA공정에서 마이크로 액츄에이터에 의해 마스크의 위치가 미세하게 제어되는 마이크로 액츄에이터 내장형 마스크를 이용하여 3차원 구조물 형상을 만들 수 있는 마이크로 액츄에이터를 구비한 엑스선 마스크 장치에 응용할 수 있다.*특징 및 장점방사광 가속기의 X-선을 이용하는 LIGA 공정 시 마스크부만을 직접 움직여가면서 3차원 구조물을 정밀하게 제작할 수 있는 특징이 있다.