일반기술

피에조 구동기의 영구자석 예압장치

본 기술은 영구자석을 이용한 구동장치의 예압에 관한 것으로서 기존의 방식은 Spring을 주로 사용하였으나 이는 구동기의 성능을 떨어뜨리는 효과를 가져오게 된다. 그러나 본 영구자석을 이용한 예압장치는 피에조 구동기의 반응속도를 저감하지 않으면서 넓은 주파수대역에서 큰 힘을 낼 수 있도록 고안된 것이다. - 주로 AFM용과 같은 초정밀 Stage의 핵심 구동부품으로서 활용될 수 있음. - 단일 부품으로 각종 피에조 구동기가 사용되는 것에 들어갈 수 있다. 특히, 광통신부품조절장치, glass cutting용 구동장치 등 피에조 구동기가 들어가는 모든 장치에 이를 사용할 수 있다. 피에조 구동기는 일반적으로 인장과 압축을 하면서 길이가 늘어나게 되는데, 이 때 예압이 요구된다. 기존의 스프링 구동에 비해 갖는 기술적 장점은 다음과 같다. 1) 운동전달물에 점접촉을 통해 힘을 전달하므로 2축이상의 구동장치에 삽입하여 축간섭을 최대한 배제하면서 구동시킬 수 있다. 2) 구동거리를 영구자석의 자력을 이용해 조절할 수 있다. 3) 예압으로 인한 Mass부가 효과가 없어서 넓은 구동대역을 가진다. 4) 히스테리시스가 상대적으로 줄어드는 효과가 있다. 단일 피에조 구동기를 판매하는 업체의 제품 중 하나로 사업화될 수 있으며, 또한 이를 기존 제품에 적용시켜 제품의 성능을 향상시키는 용도로 활용될 수 있다. 따라서 기존 단일 피에조 구동기를 생산, 판매하는 곳이나 피에조 구동기를 이용한 초정밀 스테이지를 판매하는 업체에 Technical licencing을 할 수 있을 것임.