일반기술

나노 패터닝용 프린팅 헤드 장치

본 기술은 액체상의 프린팅물질을 수용하며, 프린팅물질이 배출되는 배출경로와, 분사 챔버와, 분사 챔버에 설치되어 기포를 발생시키는 히터가 장착된 패터닝용 프린팅헤드에 관한 것이다. 분사 챔버 내에 X-Y방향으로 미세 이동 가능하게 설치되며, 단일의 미세한 분사 홀을 갖는 쉐도우마스크와 쉐도우마스크를 미세 이동 시키는 엑츄에이터, 미리 입력된 패터닝 데이터에 대응하는 패터닝 위치로 쉐도우마스크의 분사홀이 이동하도록 엑츄에이터의 구동을 제어하는 제어부를 포함하는 미세 나노 패터닝용 프린팅 헤드장치이본 기술은 패터닝용 프린팅 헤드에 관한 것으로서, 종래의 패터닝용 프린팅헤드에 있어서는, 프린팅헤드로부터 분사되는 프린팅물질의 분사영역이 프린팅헤드의 동작위치영역에서만 형성되기 때문에, 패터닝 영역이 프린팅헤드의 동작위치에만 국한되어 정밀한 미세 패터닝이 곤란하며, 프린팅물질이 분사되는 쉐도우마스크의 분사홀이 다중 분사홀의 구조를 가지고 있기 때문에 프린팅 물질의 분사영역이 비교적 넓게 형성되어 패터닝의 정밀도가 떨어지며 특히, 약 100nm 이하의 초미세 집적회로나 조형물의 패터닝이 불가능하다는 문제점이 있다. 쉐도우마스크의 구조가 패터닝 될 구조에 대응하도록 미리 제작되기 때문에, 임의 형상의 패터닝이 어렵고, 제작 후 재배치가 곤란한 단점이 있다. 따라서 본 기술은 패터닝의 정밀도가 향상되고, 초미세 패터닝과 임의 형상의 패터닝이 가능하며, 쉐도우마스크의 제작 및 재배치와 정렬의 문제를 해소할 수 있는 패터닝용 프린팅헤드이다.