일반기술

분산제어시스템

본 기술은 반도체 생산장비의 단위 생산 설비에서 모듈화 된 복수의 Tool들을 제어하며 제품의 효율적인 생산 및 장비의 운영을 담당하는 분산제어시스템에 관한 것이며, 원재료의 운반을 담당하는 분분(Robot)과 원재료의 가공을 담당하는 부분(Process Chamber) 등의 복수의 Tool로 이루어진 반도체 생산장비 및 TFT-LCD 생산 설비 제어에 적용할 수 있으며, 그 외 상하수도 설비, 전력 설비, Industrial Plant 설비 등에 적용할 수 있다.여러 장비나 모듈의 복합적 운영을 위해 모듈별로 분리되어 있는 S/W를 통합하여 Transfer Module과 Process Module간의 연계 및 운영에 필요한 시나리오, 정보의 송/수신 등을 분산제어하며, R20020111000017PM1, PM2, PM3, TM의 분산제어 기능, Schedule 기능, Recipe 기능, Alarm 기능, Graph 기능, Metal Process 기능, Poly Process 기능, Asher Process 기능, Cassette Load/Unload 기능, Wafer 이송 기능, Elevator Align 기능, Robot Control 기능을 제공하는데 그 특징이 있다.