일반기술

ＵＶ경화성수지의 실시간 경화도 측정시스템

본 발명은 UV 나노임프린트(NANOIMPRINT) 공정에서 사용되는 UV경화성수지에 대한 실시간 경화도 측정시스템에 관한 것으로, 푸리에 변환 적외선 분광기(FT-IR ;Fourier Transform Infrared Spectroscopy)에 UV조사장치부를 부가하여, UV조사에 의해 UV경화성수지를 경화시키면서 실시간으로 그 경화도의 변화를 파악할 수 있도록 하는 UV경화성수지의 실시간 경화도 측정시스템 및 그 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.그리고, 본 발명의 다른 목적은 점성이 낮은 UV경화성수지에 대하여 실시간 경화도 측정이 가능하도록 스핀코팅(spin-coating)방식을 이용하여 시편을 제작하는 방법을 제공하는데 있다.적외광을 방출하는 IR광원과, 상기 IR광원으로부터 방출된 상기 적외광을 간섭시키는 간섭계와, 간섭후의 적외광이 투과되도록 설치된 UV경화성수지 시료와, 투과된 적외광을 검출하는 검출기와, 상기검출기의 검출결과를 연산처리하여 출력하는 디지털 프로세서로 구성되며, 상기 시료의 분자구조를 분석하는 FT-IR분광기; 자외광을 방출하는 UV광원과, 상기 UV광원으로부터 방출된 상기 자외광을 상기 FT-IR분광기내에 장착된 상기 시료에 조사되도록 안내하는 광가이드로 구성되는 UV조사장치부;를 포함하는 UV경화성수지의 실시간 경화도 측정시스템을 제공한다.