일반기술

이소프로필 알콜증기 세정기

본 기술은 반도체 생산공정중에 사용되는 것으로, 반도체의 친적인 먼지(Partcle)을 제거하기 위해 순수물(D.I.WATER)로 세정공정을 거친 실리콘 웨이퍼(Si Wafer) 상에 잔존하고 있는 수분을 건조시키는 장치인 이소프로필 알콜증기 세정기에 관한 것이다.웨이퍼가 담긴 캐리어는 로보트암 재치부에 형성시킨 대봉과 소봉에 의해 일측으로 기울면서 웨이퍼가 경사지게 되므로 반도체 웨이퍼가 고집적도여서 선폭이 좁아도 골고루 반응할 수 있게 되고 반응된 혼합물의 배수가 잘되게 되어 건조시간이 짧아지고 생산량이 증가하게 되는 것이다.본 기술은 친수성과 고침투성을 갖는 유기용제의 일종인 이소프로필 알콜(ISO-PROPYL ALCOHOL)을 가열부로 가열하여 증기를 최단시간내에 다량 발생시켜 이 증기로 웨이퍼상에 잔존하는 수분과 반응하여 혼합물로 떨어지도록 한다. 이는 폐액회수용기에 모아 재 증발하는 것을 방지하면서 외부로 배수처리할 수 있도록 하므로서 화합물로부터 발생할 수 있는 먼지(PARTICLE)를 최소화함으로써 불량율을 최소화하고 용기상측에 냉각관과 개폐도어를 장설하여 이소프로필 알콜의 소모량을 줄이고 로보트암에 캐리어를 올려놓으면 웨이퍼가 기울어 반응도가 증대되고 배수가 잘 되도록 하고 이소프로필 증기가 웨이퍼에 골고루 접촉, 반응하므로 천적인 먼지(PARTICLE)을 최소화하고 수분을 최단시간내 건조시켜 불량율을 줄이고 생산성을 증가시킨다. 이소프로필 알콜증기 세정기의 쿼츠챔버 유입관으로 이소프로필알콜을 바닥면에서 높이 약 2-3㎝정도로 채운후 가열히터부의 히터로 간접가열을 하면 쿼츠챔버내에 이소프로필 알콜증기가 충만한 상태에서 개폐도어를 열어 생산라인에서 이송되온 웨이퍼가 담긴 캐리어를 로보트암 재치부위에 올려놓고 구동부를 구동시켜 로보트암을 하강 쿼츠챔버내 폐액회수용기 상측에 정지되도록 하고 개폐도어를 닫으면 웨이퍼에 잔존하던 수분이 이소프로필 알콜증기와 반응하게 되는데, 웨이퍼가 담긴 캐리어는 로보트암 재치부에 형성시킨 대봉과 소봉에 의해 일측으로 기울면서 웨이퍼가 경사지게 되므로 반도체 웨이퍼가 고집적도여서 선폭이 좁아도 골고루 반응할 수 있게 되고 반응된 혼합물의 배수가 잘되게 되어 건조시간이 짧아지고 생산량이 증가하게 되는 것이다