일반기술

마이크로 광 조형 방법 및 장치

*원리 및 개요1) 자외선(UV; ultraviolet) 또는 적외선 레이저에 경화되는 광 경화성 수지를 적층하여 3차원 형태의 마이크로 구조물을 제작할 수 있고, 레이저 빔을 초점 제어하여 수 ㎛크기의 빔(beam) 반경을 갖도록 할 수 있는 마이크로 광 조형 방법 및 장치에 관한 것이다. 2) 자유액면방식을 사용하며 x-y축 스테이지(stage) 위에 설치된 광학계로 레이저 주사 경로를 제어하고 독립된 z축 스테이지로는 단면층 두께만을 제어할 수 있도록 된 마이크로 광조형 방법 및 장치에 관한 것이다.*구성1) 일정 부분 광학계를 통하여 수 ㎛ 직경을 갖는 초점된 레이저 빔을 광 단단하게 굳어지는 정도의 수지(유기화합물 및 그 유도체로 이루어진 비결정성 고체 또는 반고체)면 위에 주사하는 레이저 빔 주사 단계2) 광 경화성 수지 단면 층을 성형하는 성형 단계3) 단면 층위에 성형 단계를 반복 적용하여 광 경화성 수지 단면 층을 쌓아 만들어 내는 3차원 광 경화성 수지 구조물을 조형하는 조형 단계*특징 및 장점1) 자외선(UV; ultraviolet) 또는 적외선 레이저에 경화되는 광 경화성 수지를 적층하여 3차원 형태의 마이크로 구조물을 제작할 수 있다.2) 레이저 빔을 초점 제어하여 수 ㎛크기의 빔(beam) 반경을 갖게 함으로써 마이크로 크기의 성형품을 효율적으로 제조할 수 있게 하는 이점을 제공한다.3) 자유액면방식을 사용하며 x-y축 스테이지(stage) 위에 설치된 광학계로 레이저 주사 경로를 제어하고 독립된 z축 스테이지로는 단면층 두께만을 제어할 수 있게 함으로써 다양한 형상의 3차원 마이크로 구조물을 효과 적으로 만들 수 있는 이점을 제공한다.