일반기술

X-ray 빔을 이용한 유동영상 취득 및 속도장 측정장치

*원리 및 개요1) 본 기술은 서로 다른 두 가지 측정 기법인 PIV / PTV 속도장 측정기술과 방사광 x-ray 인-라인(in-line) 홀로그래피(Holography) 기술이 결합된 x-ray 빔을 이용한 유동영상 취득 및 속도장(Velocity field) 측정장치에 관한 것이다. 2) 구체적으로는 물체 내부 비가시영역의 유체 유동이나 불투명 유체의 유동정보를 정량적으로 측정할 수 있는 x-ray 빔을 이용한 유동영상 취득장치에 관한 것이다.*특징 및 장점1) 방사광 x-ray 빔을 방사하는 가속기2) 가속기로부터 연속적으로 방사되는 x-ray 빔으로부터 필요한 x-ray 광량만이 시료를 투과할 수 있도록 빔 축 상에 설치되는 기계식 셔터3) x-ray 빔에 의해 투과되어질 시료가 놓여질 수 있도록 빔 축 상에 설치되는 마이크로 트래버스(micro-traverse)4) 시료를 투과하면서 가시화된 x-ray 파장의 영상을 가시광선 대역의 영상으로 바꾸어 줄 수 있도록 x-ray 빔의 광 축 상에 설치되는 신틸레이터5) 신틸레이터에 맺힌 입자 영상을 획득할 수 있도록 빔 축과 수직하게 설치되는 CCD 카메라6) CCD 카메라의 영상을 모니터에 표시하기 위해 설치된 컴퓨터 장치7) 연속적으로 취득한 2장의 x-ray 유동영상으로부터 정량적인 유동정보를 추출해 낼 수 있는 PIV/PTV 속도장 측정기술*효과1) 정렬마크의 제조유형을 대폭 개선하여, 정렬마크의 형상을 오목하게 파인 입체형 패턴개체에서 다수의 결정입자 조각들(Grain pieces)이 낮게 깔려 분포된 평면형 패턴개체로 변경하고, 이를 통해, 촬상기의 정렬마크 인식·재현률을 대폭 향상시킨다.2) 촬상기에 의해 생성되는 정렬 기초정보의 신뢰성을 일정 수준 이상으로 극대화시킨다.3) 촬상기에 의해 생성되는 정렬 기초정보의 신뢰성 향상을 통해 밀봉기판 정렬기의 패키징 갭 위치결정 정확도를 향상시킨다.4) 밀봉기판 정렬기에 의해 정렬 합체되는 기판 및 밀봉기판이 정렬마크 인식 오류에 기인한 크고 작은 공정사고를 자연스럽게 피할 수 있도록 유도한다.