일반기술

기체 발생을 이용한 미세 펌프 및 그 제조방법

본 발명은 LOC(LAB-ON-A-CHIP)를 포함하여 미세 구조물 내의 물질들을 운송하는데 사용되는 미세 펌프 및 소형 세포 배양기를 개시한 것으로, MEMS(MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS) 공정을 포함한 일련의 처리로써 격리된 H2O2용액과 촉매로서의 MNO2로 구성된 산소 발생기 또는 NAHCO3를 가열하거나 HOC(COOH)(CH2 COOH)2와의 반응을 통하여 이산화탄소를 발생시키는 이산화탄소 발생기를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 산소 또는 이산화탄소 발생을 이용한 미세 펌프에 의해 발생되는 기체는 이후의 공정과 반응에 사용될 만큼 충분한 순도를 나타내며 저장기 내지는 미세채널 속에 있는 액체 시료를 밀어내기에 충분한 압력과 양을 제공한다. 또한, 본 발명에 따른 산소 또는 이산화탄소 발생을 이용한 미세 펌프는 이산화탄소의 공급 문제로 이동성에 크게 제한을 받는 소형 세포 배양기에 적용되어 휴대용 소형 세포 배양기를 현실화할 수 있다.기체 발생을 이용한 미세 펌프에 있어서, H2O2 용액 저장공간이 형성된 실리콘 기판과, 상기 실리콘 기판 상부에 형성된 SIO2/SI3N4 박막과, 상기 SIO2/SI3N4 박막 상부에 결합된 PDMS를 포함하며, 상기 PDMS는 상기 SIO2/SI3N4 박막을 사이에 두고 상기 H2O 2 용액 저장공간과 마주보는 MNO2 저장공간을 포함하며, 관로에 의해 상기 MNO2 저장공간과 연통되는 시료저장기, 상기 시료 저장기의 일단에 연결되는 시료주입구 및 상기 시료저장기의 또 다른 일단으로부터 상기 미세 펌프의 외부까지 연통되는 미세채널을 포함하는 기체 발생을 이용한 미세 펌프.