일반기술

펄스 레이저 유기 충격파를 이용한 금속표면 세정방법 및세정장치

본 발명은 펄스 레이저를 금속이 잠긴 세정액 표면에 집속시켜 세정액이 절연파괴 되는 과정에서 유기된 충격파를 이용하여 금속표면의 불순물을 제거하거나 화학적 세정공정을 단축시키는 금속표면 세정방법을 제공한다. 세정액 내에서 절연파괴가 일어나면 고온고압의 플라즈마가 발생하는데, 이 때 플라즈마 팽창이 유도되면서 강한 충격파가 발생된다. 발생된 충격파는 금속 위의 입자 또는 막 형태의 불순물을 표면으로부터 제거하거나 화학물질의 세정작용을 촉진하게 된다. 본 발명에 따른 세정방법은 제거하고자 하는 불순물의 종류에 따라 세정액의 종류와 농도를 바꿀 수 있어 다양한 불순물 제거에 적용될 수 있으며, 또한 입자상 불순물과 유기 불순물을 동시에 제거할 수도 있고, 습식공정이므로 대기 중 습기에 의해 발생하는 입자와 표면간 모세관력을 원천적으로 배제하여 입자제거를 용이하게 할 수 있는 장점을 가진다. 특히 본 발명은 철강제조 공정에서 금속표면에 생성되는 불순물을 제거하는 산세공정을 단축시키는 데 효과적으로 활용될 수 있다.레이저를 이용하여 금속표면을 세정하는 방법에 있어서, 레이저 펄스를 방출할 수 있는 레이저를 제공하는 단계; 세정액을 제공하는 단계; 상기 세정액 내에 세정할 금속을 담그는 단계; 상기 레이저로부터 방출되는 레이저 펄스가 적어도 하나 이상의 광학소자를 지나게 하는 단계; 및 상기 광학소자를 지난 레이저 펄스를 상기 세정액의 표면에서 초점이 맺히도록 집속시켜 상기 세정액 내에서 고온고압의 플라즈마를 발생시키고 이로 인하여 발생되는 충격파로 상기 금속표면의 불순물을 제거하는 단계 를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속표면 세정방법.