일반기술

미세 입자의 제조 방법 및 그 장치

본 발명은 미세 입자의 원료가 되는 고체 분말을 소정의 형틀 내에서 가압, 가열하여 고형화시킨 후에 고형화된 고체 시편을 펄스 레이저를 이용하여 미세 입자화함으로써 미세입자의 생성 효율을 향상시킨 미세입자의 제조 방법 및 그 장치에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명에 따른 방법은, 상기 미세 입자를 생성하기 위한 원료로서의 고체 분말을 가압, 가열하여 고형화된 고체 분말 덩어리 시편을 만드는 단계; 및 상기 고형화된 고체 분말 덩어리 시편에 레이저 펄스를 조사하여 어블레이션(ablation) 시켜 상기의 미세 입자를 생성하는 단계를 포함하여 된 것을 특징으로 한다.본 발명에 따른 장치는, 상기 미세 입자를 생성하기 위한 원료로서의 고체 분말을 가압, 가열하여 고형화된 고체 분말 덩어리 시편을 만들기 위한 가압 가열수단; 및 상기 고형화된 고체 분말 덩어리 시편에 레이저 펄스를 조사하여 어블레이션시켜 상기의 미세 입자를 생성하기 위한 수단을 포함하여 된 것을 특징으로 한다.미세 입자를 제조하는 방법에 있어서, 상기 미세 입자를 생성하기 위한 원료로서의 고체 분말을 가압, 가열하여 고형화된 고체 분말 덩어리 시편을 만드는 단계; 및 상기 고형화된 고체 분말 덩어리 시편에 레이저 펄스를 조사하여 어블레이션(ABLATION) 시켜 상기의 미세 입자를 생성하는 단계를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 미세 입자 제조방법. 고체 분말을 가압,가열 처리하여 고체 덩어리로 고형화하여 고체 분말이 고르게 분포된 시편을 만든 이후 레이저 펄스를 조사하여 레이저의 모든 에너지가 고체 분말을 미세 입자로 만드는데 이용되게 함으로써 미세입자의 생성 효율을 향상시킬 수 있도록 한 미세 입자의 제조 방법 및 그 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.