일반기술

MEMS 소자를 이용한 선택적 다중핵산 증폭장치 및그의 제작방법

본 발명은 MEMS (micro electro mechanical system) 소자를 이용한 선택적 다중핵산 증폭장치 및 그의 제작방법에 관한 것으로, 구체적으로 PCR (polymerase chain reaction)에 사용되는 온도 사이클을 제어하기 위해 마이크로히터 (micro-heater)와 RTD 센서 (resistance thermometer device sensor)를 하나의 MEMS 소자에 집적화하고 가상의 다중 반응용기 형성을 위한 전극을 포함하는, MEMS 소자를 이용한 선택적 다중핵산 증폭장치 및 그의 제작방법에 관한 것이다. 본 발명의 다중핵산 증폭장치는 목적하는 여러 종류의 핵산을 선택적으로 증폭시킴으로써 증폭된 DNA를 이용한 단백질 (protein)-DNA간의 결합현상을 규명하는 데 유용하게 사용될 수 있다.박막이 형성된 기판; 상기 기판 위에 위치하여 열 발생과 열 검출에 사용되는 마이크로히터 및 RTD 센서부; 상기 히터 및 센서부 위에 위치하며 전기장을 형성하는 전극부; 상기 전극부를 감싸고 PCR 용액의 혼합과 저장을 위한 반응용기와 시료의 유출입구를 포함하는 혼합 반응용기; 및 기판의 하부에 위치한 펠티어 (peltier) 소자로 이루어진 MEMS (micro electro mechanical system) 소자를 이용한 선택적 다중핵산 증폭장치.