일반기술

광학용 초소형 구조물 어레이 금형의 제조방법

본 발명은 광학용 초소형 구조물 어레이 금형의 제조방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 LIGA(in german, Lithographie-노광, Galvanoformung-전기도금, Abformung-사출성형) 공정과 열처리 공정을 이용하여 마이크로 렌즈 등의 구조물이 있는 광학용 초소형 구조물 어레이 금형의 제조방법에 관한 것이다. 한편, 본 발명은 방사광 가속기의 X-선 1차 노광과 현상, X-선 2차 노광 그리고 열처리의 방법으로 마이크로 렌즈 등의 특정한 구조물이 있는 광학용 초소형 구조물 어레이 형태를 구현하고, 이를 바탕으로 전기도금을 통해 초정밀 금형을 제작하는 광학용 초소형 구조물 어레이 금형의 제조방법에 관한 것이다.LIGA 공정을 이용하여, 소정의 특정한 구조물이 있는 광학용 초소형 구조물 어레이를 사출성형하기 위한 금형 제조방법에 있어서, X-선 마스크를 이용하여 한번 또는 두번 이상 노광하는 단계; 상기 노광단계에서 노광된 시편을 현상하여 원하는 소정의 초소형 광학용 구조물 어레이 형태의 감광재 PMMA를 제작하는 PMMA 제작단계; 상기 PMMA 제작단계에서 제작된 초소형 광학용 구조물 어레이 형태의 감광재 PMMA에 다른 마스크를 사용하여 원하는 부분에 X-선 2차 노광하는 단계; 상기 2차 노광단계를 실시한 후에 열처리를 실시하여 상기 X-선에 의해 노광된 감광재의 부분만을 비노광된 부분에 대해 선택적으로 표면을 녹여 변형시켜 소정의 모양을 갖는 구조물을 제조하는 단계; 및 상기 제작된 PMMA 형상에 니켈 도금을 한 후 상기 PMMA를 녹여 실리콘 기판을 제거하여 해당하는 구조물 어레이 형태의 니켈 금형을 얻는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학용 초소형 구조물 어레이 금형의 제조방법.