일반기술

액정소자 후광장치용 도광판 금형 제조 방법

*원리 및 개요 액정소자 후광장치용 도광판 제조에 필요한 금형을 제조하는 방법에 관한 것이다.*중요성 및 독창성1) X-선을 이용하여 표면조도가 우수하며 임의의 형상을 갖는 도광판 금형을 제조할 수 있게 하는 액정소자 후광장치용 도광판 금형 제조 방법을 제공한다.2) 2번의 경사 X-선 노광을 이용하여 높이가 다르며 표면 거칠기가 작은 소정의 삼각 산맥형태로 이루어진 도광판 금형 제조방법을 제공한다.3) 기존의 기술에 의한 기계 절삭과 같은 방법에 비하여 공정의 재현성, 대량생산, 대면적 가공, 단가 등에 많은 이점을 제공하는 액정소자 후광장치용 도광판 금형 제조방법을 제공한다.*특징 및 장점본 기술은 액정소자 후광장치용 도광판 금형 제조방법이다.1)기판 상부에 X-선 감광재( 빛을 받아 화학적 변화를 일으키도록 하는 물질)를 접합하는 단계2) X-선 감광재 상부에 도광판 구조물의 영역을 정의하기 위하여 X-선을 흡수하는 물질로 마스크 패턴을 형성하는 단계3)위의 마스크 패턴이 형성된 X-선 감광재를 서로 다른 입사방향의 경사진 각도로 2번 노광을 실시하는 단계4)위의 노광된 X-선 감광재를 현상하여 그 기판 상부에 도광판 구조물을 형성하는 단계5)위의 도광판 구조물이 형성된 기판 상부에 금속층을 두껍게 형성하는 단계6)그 도광판 구조물 패턴 및 기판을 모두 제거하여 위의 금속층으로 이루어진 도광판 금형을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.* 효과1) X-선 노광을 이용하여 금속 금형을 제조하므로 표면거칠기가 우수한 도광판용 금형을 제조할 수 있다.2) X-선 노광을 이용하여 금속 금형을 제조하므로 대면적 도광판을 제조할 있게 하는 이점과, 도광판을 대량생산할 수 있다.