일반기술

고에너지 광원을 이용한 구조물 제조방법

본 발명은 고에너지 광원을 이용한 구조물 제조방법에 관한 것으로, 특히 고에너지 광원으로 방사광 가속기의 X-선 또는 레이저를 이용하여 초소형 구조물인 마이크로렌즈 구조물을 제조할 수 있는 방법에 대해 개시한다. 본 발명의 X-선을 이용한 마이크로렌즈 제조 방법은 감광재에 마이크로렌즈 패턴을 정의하는 X-선 마스크를 이용하여 X-선으로 노광 공정을 진행하고, 열처리를 실시하여 X-선에 의해 노광된 감광재만을 비노광된 부분에 대해 선택적으로 표면을 녹여 변형시켜 마이크로렌즈를 제조한다. 그러므로, 본 발명은 종래 기술에 비해 X-선 노광 공정을 1번으로 단축할 수 있고 현상 공정을 생략할 수 있어 전체 제조 공정의 수를 줄일 수 있다. 게다가, 본 발명은 마이크로렌즈용 금형틀을 이용한 사출 성형 또는 핫 엠보싱 공정을 실시하여 동일한 형태를 갖는 마이크로렌즈를 여러 개 제작할 수도 있기 때문에 마이크로렌즈의 대량 생산이 가능하다. 또한 본 발명은 고에너지 광원으로서 레이저를 사용할 경우 마이크로렌즈가 형성될 예정 영역의 감광재에 레이저 광원을 맞추고 레이저 빔을 조사함으로써 노광 공정을 실시하고 열처리로 노광된 감광재 표면을 녹여 마이크로렌즈를 형성할 수 있어 노광 공정시 마스크를 생략할 수 있다.구조물의 패턴을 정의하는 마스크를 이용하여 X-선 광원으로 감광재를 노광하는 단계; 및 상기 감광재에 열처리를 실시하여 상기 X-선 광원에 의해 노광된 감광재만을 비노광된 부분에 대해 선택적으로 표면을 녹여 소정의 패턴을 갖는 구조물을 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 고에너지 광원을 이용한 구조물 제조방법. 본 발명은 초소형 구조물(예컨대 마이크로렌즈)이 형성될 예정의 감광재에 고에너지 광원(X-선,레이저)으로 노광함으로써 노광된 감광재와 그렇지 않은 부분의 폴리머 분자량(T g )차이를 크게 하고 이후 열처리 공정을 실시하여 노광된 감광재 부분만을 선택적으로 녹여 표면 변형을 일으켜서 원하는 초소형 구조물을 제작한다.그리고,본 발명은 초소형 구조물을 제조한 후에,구조물의 금형틀을 형성하고 사출성형 또는 핫 엠보싱 공정을 이용하여 마이크로렌즈뿐만 아니라 동일한 형 태를 갖는 초소형 구조물을 대량 생산한다.그러므로,본 발명은 기존의 LIGA 공정을 이용하는 방법에 비해 X-선 이외의 고에너지 광원을 이용할 수도 있고 현상 공정이나 2차 노광 같은 공정을 생략할 수 있어 전체적인 제조 공정의 수를 줄일 수 있으며 공정의 수율을 높일 수 있다.