일반기술

변형된 ＬＩＧＡ 공정을 이용한 미세 Ｕ형 골 구조물제조방법

*원리 및 개요미세 U형 골 구조물의 제조방법에 관한 것이다.*구성1) 방사광 X-선을 이용하여 2번의 X-선 경사노광과 현상공정으로 기본적인 골 구조물을 만든 후2) 한번의 X-선 노광을 더 한 뒤, 열처리를 하여 미세 U형 골 구조물 성형틀을 만들고3) 2)의 미세 U형 골 구조물 성형틀위에 성형물을 굳혀서 미세 U형 골 구조물을 제조하는 방법에 관한 것이다.*특징 및 효과1) 아직까지 보고되지 않은 미세 U형 골구조물 제조방법을 제공함으로서 삼각 산맥형태보다 저항하는 힘의 감소효과가 더 좋다고 알려진 U형 골구조물의 제조가 가능하다. 2) 제조과정에서 생성된 미세 U형 골구조물 성형틀을 이용하면 쉽게 대량의 미세 U형 골구조물을 얻을 수 있다. 3) 제조과정에서 생성된 미세 U형 골구조물 성형틀에 PDMS와 같은 유연한 중합체(polymer: 분자가 중합하여 생기는 화합물)를 이용하여 골구조물을 만들면 평평한 부분뿐 아니라, 곡면에도 붙일 수 있어 그 적용범위가 더 넓어지게 된다.4) PDMS와 같은 투명한 중합체를 재료로 사용하면 실제로 적용하였을 때 본 물체의 표면상태를 관찰할 수 있다.