일반기술

마이크로 액츄에이터를 구비한 엑스선 마스크 장치

본 발명은 마이크로 액츄에이터를 구비한 엑스선 마스크에 관한 것으로, 기판 위에 얇은 멤브레인 구조물이 형성되고 그 위에 X-선 흡수체가 형성되는 마스크부와, 마스크부를 지지하기 위해 설치되는 마스크 홀더부와, 마스크부를 상기 마스크 홀더로부터 자유자재로 요동할 수 있도록 마스크부와 마스크 홀더부 사이에 설치되는 다수의 탄성지지체와, 마스크부 외측과 마스크 홀더부 내측에 각각 다수개의 빗형상체(comb)로 이루어진 전극을 상호 이격된 거리를 두고 교차되게 형성하여 전극에 인가된 전기력에 의해 미소 변위생성능력을 발생시켜 마스크의 위치를 정밀하게 제어하는 마이크로 액츄에이터부를 포함한다.이와 같은 본 발명에 따르면, 방사광 가속기의 X-선을 이용하는 LIGA 공정 시 마스크부만을 직접 움직여가면서 3차원 구조물을 정밀하게 제작할 수 있다마이크로 액츄에이터를 구비한 엑스선 마스크 장치에 있어서, 기판 위에 얇은 멤브레인 구조물이 형성되고 그 멤브레인 구조물위에 형성된 X-선 흡수체로 구성되는 마스크부와, 상기 마스크부를 지지하기 위해 일정간격 떨어져 둘러싸도록 설치되는 마스크 홀더부와, 상기 마스크부를 상기 마스크 홀더로부터 탄성이동 가능하도록 상기 마스크부와 상기 마스크 홀더부사이를 연결하는 하나이상의 탄성지지체와, 상기 마스크부 외측과 상기 마스크 홀더부 내측에 각각 다수개의 빗형상체(COMB)로 이루어진 전극을 상호 이격된 거리를 두고 교차되게 형성하여 전극에 인가된 전기력에 의해 미소 변위생성능력을 발생시켜 마스크의 위치를 정밀하게 제어하는 마이크로 액츄에이터부를 포함하는 마이크로 액튜에이터를 구비한 엑스선 마스크 장치.