일반기술

텅스텐탄화물-티타늄질화물 초격자 코팅막과 그의 제조장치 및 방법

본 발명은 초격자 코팅막과 그의 제조 장치 및 방법에 관한 것으로,보다 구체적으로는 높은 경도 특성을 유지하면서,초격자 코팅막의 두께를 용이하게 제어할 수 있는 초격자 코팅막과 그의 제조 장치 및 방법에 관한 것이다.종래의 TiN/AlN,TiN/VN,TiN/NbN과 같은 질화계 초격자 코팅막은 높은 경도 때문에 모재와의 밀착력이 좋지 않으며 윤활특성이 나쁜 단점이 있다.또한,두께가 정확히 제어되지 않는 한,대부분의 산업 기계 분야에 적용하기어렵다.따라서,본 발명의 목적은 두께를 정밀하게 제어할 수 있으면서,높은 경도 및 밀착 특성과 윤활성이 우수한 질화물-탄화물계 초격자 코팅막을 제공하는 것이다.또한,본 발명의 다른 목적은 두께를 정밀하게 제어할 수 있으면서,높은 경도 및 밀착 특성과 윤활성이 우수한 질화물-탄화물계 초격자 코팅막을 제공할 수 있는 초격자 코팅막의 제조 장치를 제공하는 것이다.또한,본 발명의 또 다른 목적은 상기한 초격자 코팅막의 제조방법을 제공하는 것이다.본 발명은 초경도 코팅막과 그의 제조 장치 및 방법을 개시한다. 개시된 본 발명의 초경도 코팅막은 모재; 모재상에 형성되는 적어도 한층 이상 적층되는 초격자 내마모층을 포함하며, 상기 초격자 내마모층은 TiN층과 WC층이 적어도 한번이상 교대로 적층된 막인 것을 특징으로 한다.모재; 모재상에 형성되는 적어도 한층 이상 적층되는 초격자 내마모층을 포함하며, 상기 초격자 내마모층은 TiN층과 WC층이 적어도 한번이상 교대로 적층된 막인 것을 특징으로 하는 초격자 코팅막.