일반기술

텅스텐탄화물-티타늄 알미늄질화물 초격자 코팅막과 그의제조 장치 및 방법

*원리 및 개요미세한 결정립 사이즈를 정밀하게 제어할 수 있으면서, 높은 경도 및 밀착 특성을 확보할 수 있는 초격자 코팅막과 그의 제조 장치 및 방법에 관한 것이다.* 중요성 및 독창성1) 기존의 TiN/AlN,TiN/VN,TiN/NbN과 같은 질화계 또는 탄화계 초격자 코팅막은 초격자를 구성하는 물질의 특성에 의해 결정립 사이즈제어가 어렵다.이로 인하여,결정립 사이즈에 대한 초정밀 제어가 이루어지지 않는한 대부분의 산업 기계 분야에 적용하기 어렵다. 이에 반해 본 기술의 목적은 미세한 결정립 크기를 정밀하게 제어할 수 있으면서도,높은 경도 및 밀착 특성을 확보할 수 있는 초격자 코팅막을 제공한다.2) 본 기술은 미세한 결정립 사이즈를 정밀하게 제어할 수 있으면서,높은 경도 및 밀착 특성을 확보할 있는 초격자 코팅막의 제조 장치를 제공한다.*장점 및 효과1) 초격자 코팅막을 TiAlN층 및 WC층의 적층막으로 구성되는 내마모층과 응력 해소층을 적어도 한번 이상 적층하여 형성하되, 코팅막 제조 장치내의 지그의 회전 속도를 조절하여, 초격자 코팅막내의 결정립 사이즈를 용이하게 조절할 수 있다.2) 내마모층에서 WC층이 TiAlN층 상부에 적층됨에 따라, TiAlN층내의 결정립이 전체적으로 성장되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, WC층 및 TiAlN층 간에 초격자를 이루어 높은 경도 특성을 확보할 수 있다.3) 초격자 내마모층 사이에 잔류 응력을 해소하는 응력 해소층을 개재함에 따라, 잔류 응력을 50% 이상 감소시킬수 있을 뿐만 아니라, 밀착 특성까지 개선시킨다. 4) 높은 경도 특성을 확보하면서,밀착 특성이 우수하고, 결정립 사이즈를 용이하게 조절가능하므로, 정밀한 결정립 사이즈를 요하는 산업 기계 분야에 적용가능하다.