일반기술

중심이 제거된 나노 구조체 및 이의 제조방법

본 발명은 중심부(CORE)가 제거된 나노 구조체 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따라 산화아연 나노선 위에 금속, 반도체, 유전체 등의 다양한 이종물질을 코팅시켜 제조된 다중벽(CORE-SHELL) 구조의 산화아연계 나노선에서 중심 소재인 산화아연을 부식성 가스, 무기산, 플라즈마 등을 사용하여 제거함으로써 제조된 속이 빈 나노 구조체는, 나노선에 비해 부피 대 단면적 비가 2배 이상 크고, 모양과 길이 및 중심소재 제거 정도의 조절 및 빈 공간에 이물질의 주입 등을 통해 다양한 특성 및 구조를 제공할 수 있고, 다양한 나노소자의 핵심부품을 단일구조체로 제조할 수 있어 다기능 집적형 나노소자 및 나노시스템을 구현하는데 유리하게 이용될 수 있다.본 발명의 목적은 다중벽 구조의 산화아연계 나노선의 중심부(core)를 제거하여 모양과 길이,중심 산화물 제거 정도 및 제거된 중심 부분에 주입되는 이물질의 종류 등을 조절할 수 있는,다양한 특성 및 구조를 갖는 중심부가 제거된 나노 구조체 및 이의 제조 방법을 제공하는 것이다.상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에서는,유기금속 화학 증착법에 의해 제조된 산화아연 나노선 위에 전이금속계 물질,질화물 반도체,유전체 등의 이종물질을 코팅하여 다중벽 구조의 산화아연계 나노선을 수득한 후,그의 중심부(core)를 부식성 가스,무기산,플라즈마 등을 사용하여 제거하는 것을 포함하는,중심이 일부 또는 전체적으로 비어있는 나노 구조체를 제조하는 방법을 제공한다.또한,본 발명에서는 상기 방법에 의해 제조된,5 내지 30 nm 범위의 직경을 갖는,중심이 일부 또는 전체가 빈 나노구조체를 제공한다.