일반기술

유기금속 화학증착법에 의한 산화아연계 나노선의 제조방법 및 이로부터 제조된 나노선

*원리 및 개요 1) 유기금속 화학증착법(Metal Organic Chemical Deposition, MOCVD)에 의한 산화아연계 나노선의 제조방법에 관한 것이다. 2) 유기금속 화학증착법에 의하면, 직경을 수 나노미터에서 수 마이크로미터의 넓은 범위까지 조절 가능하며, 직경이 비교적 균일할 뿐만 아니라 기재표면에 수직 방향으로 잘 배향되며, 특히, 나노선의 제조시 촉매를 사용하지 않기 때문에 촉매에 의한 오염을 방지할 수 있어 전기적, 광학적 성능이 우수한 산화아연계 나노선을 제조할 수 있다.*특징 및 장점1) 금속 촉매를 사용하지 않는 유기금속 화학증착법을 이용하여 불순물이 적은 고품위 산화아연계 나노선을 대량으로 제조하는 방법을 제공한다.2) 아연-함유 유기금속 및 산소-함유 기체 또는 산소-함유 유기물을 반응기에 주입하고,상압 이하의 압력 및 온도 200 내지 1,000 ℃의 반응 조건하에서 상기 반응물의 전구체들을 화학반응시켜, 기재상에 산화아연계 나노선을 증착,성장시키는 것을 특징으로 하는,유기금속 화학증착법에 의한 산화아연계 나노선의 제조방법을 제공한다.*효과1) 금속 촉매를 사용하지 않고 반응전구체들이 핵생성제로 바로 성장되기 때문에 촉매에 의한 오염을 미연에 방지할 수 있고, 특히, 도핑 조절이 용이할 뿐만 아니라, 저온 증착과 같은 이점을 갖기 때문에 종래의 방법에서 보다 훨씬 전기적, 광학적 특성이 우수한 나노선을 대량으로 제조할 수 있다. 2) 나노선의 직경도 수 나노미터까지 작게 조절할 수 있으며 두께와 길이가 균일할 뿐만이 아니라 기재에 수직한 방향으로 잘 배향되기 때문에 전자소자, 광소자, 환경에너지관련소자와 같은 나노소자로 제작할 때 많은 이점이 있다.