일반기술

나노 입자 제조 장치 및 이를 이용한 나노 입자 제조 방법

본 발명은 원재료를 수용하기 위한 챔버, 상기 챔버내에 고에너지 전자 가속빔을 주입하는 전자빔 가속기, 상기 챔버 내부를 진공으로 만드는 진공펌프, 상기 챔버 내의 분위기를 조장하는 가스를 주입하는 고압 조절기, 및 생성된 나노 입자를 수집하는 냉각판을 구비하는 나노 입자 제조 장치를 제공한다.본 발명에 따른 나노 입자 제조 장치 및 이를 이용한 나노 입자 제조 방법은 단시간 내에 나노 입자의 대량 생산을 가능케 하고, 이렇게 제조된 입자의 크기가 균일하며 형상이 구형에 가깝다. 또, 제조 공정상 변수들의 제어가 용이하고 고순도의 제품을 생산할 수 있다. 순수한 나노 입자뿐 아니라 챔버 내부를 산화 분위기로 조장함으로써 산화물 나노 입자의 제조에도 응용될 수 있다.본 발명은 원재료를 수용하기 위한 챔버,상기 챔버내에 고에너지 전자 가속빔을상기 챔버 내부를 진공으로 만드는 진공펌프,상기 챔버 내의 분위기를 조장하는 가스를 주입및 생성된 나노 입자를 수집하여 응축하는 냉각판을 구비하는 나노 입자 제조 장치를 제공한다.상기 나노 입자 제조 장치는 상기 원재료 표면 근처에서 생성된 나노 입자를 교반하는 팬을 더 포함하는 것이 바람직하다.상기 나노 입자 제조 장치는 상기 냉각판의 작용을 제한하는 뚜껑을 더 포함하는 것이 바람직하다.형상이 구형에 가까우며,이상의 나노 입자 생성을 차단하는 역할을 하며,L형 로드의 뚜껑인 것이 바람직하다.