일반기술

수직형 니들을 가지는 프로브카드 및 그 제조 방법

본 기술은 웨이퍼(wafer)에 집적된 IC칩의 불량여부를 검사하기 위한 프로브카드(prove card)에 관한 것으로, 특히 다수의 IC칩을 동시에 검사할 수 있는 수직형 니들을 가진 프로브카드 및 그 제조방법에 관한 것이다. 즉 본 기술은 반도체 웨이퍼의 프로빙 검사에 사용되는 프로브 카드에 관한 것으로, 니들을 선택식각 방법으로 여러가지 형태의 노치를 형성하여 미세텐션을 자체적으로 가지며, 전체적인 텐션제어는 메스링을 이용하는 유동적인 매카니즘으로 제조하여 반도체 칩의 패드와 니들간의 접촉을 원활히 하며, 과도한 힘으로 인한 패드의 손상없이 각각의 패드에 일정한 힘으로 접촉하여 전기적 손실이 없이 웨이퍼의 상태를 검사할 수 있는 수직형 니들방식의 프로브 카드에 관한 것이다.본 기술은 반도체 웨이퍼에 집적된 IC칩의 불량여부를 검사하기 위한 수직형 니들이 상하부 고정지지판에 장착되어 있는 수직형 니들모듈과 수직형 니들과 반도체 IC칩의 패드와의 접촉을 원활히 하기 위해 수직형 니들모츌에 부착된 메스링과 메스링과 수직형 니들모듈의 움직임을 원활하게 하며 하부로 이탈되는 것을 방지하기 위한 가이드링과 가이드링의 상부에 부착되어 메스링의 이동공간을 확보하여 주는 이동공간형성수단과 이동공간형성수단 상부에 형성되며 상부고정 지지판의 좌우이동을 방지하며, 상기 수직형 니드모듈의 상부 이탈을 방지하면서 신호패턴이 형성되어 있는 프로브카드 PCB기판을 포함하는 것을 특징으로 한다.