일반기술

고종횡비 팁을 갖는 압전 캔티레버 및 그 제조 방법

본 발명은 고종횡비 팁을 갖는 압전 캔티레버 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 특히 캔티레버의 팁이 낮을 경우 빔 자체 또는 빔이 갖는 전압이 미디어에 영향을 미치는 것을 막기 위한 고종횡비의 팁을 제조함에 있어서, 캔티레버의 팁과 지지부 상부에 응력 보정막을 추가하여 다층의 캔티레버 막을 형성함으로써 캔티레버 자체의 내부 응력을 보정하여 캔티레버가 휘어지는 것을 막을 수 있다. 또한 본 발명은 광투과 케이스를 지지부에 연결된 접합용 패턴에 접합시키기 때문에 양극 접합을 이용한 캔티레버의 접합시 상/하부 전극과 케이스가 분리되어 케이스에 인가된 전압이 직접적으로 상/하부 전극에 전달되지 않게 된다. 이로 인해, 상/하부 전극 및 압전물질에 고전압이 걸리는 위험을 막을 수있고 상부 전극의 표면 산화 현상을 방지할 수 있다.본 발명은 캔티레버의 팁과 지지부 상부에 응력 보정막을 추가하여 다층의 캔티레버 막을 형성함으로써 캔티레버 자체의 내부 응력을 보정하여 캔티레버가 휘어지는 것을 막을 수 있으며 더 나아가 우리가 원하는 형태로의 빔의 굽힘을 실현할 수 있다.또한 본 발명은 광투과 케이스가 지지부에 연결된 접합용 패턴에 접합되어 있기 때문에 양극접합을 이용한 캔티레버의 접합시 상/하부 전극과 케이스가 분리되어 케이스에 인가된 전압이 직접적으로 상/하부 전극과 압전물질에 전달되지 않게 된다. 이로 인해, 상/하부 전극 및 압전물질에 고전압이 걸려 위험을 막을 수 있고 상부 전극의 표면 산화 현상을 방지할 수 있다. 한편, 본 발명은 상술한 실시예에 국한되는 것이 아니라 후술되는 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상과 범주 내에서 당업자에 의해 여러 가지 변형이 가능하다.