일반기술

공기 경계면을 이용한 미세 채널에서의 미세유체흐름조절용 칩의 제조 방법과 미세유체 폭 조절방법

*원리 및 구성미세채널에서의 미세유체 흐름조절용 칩 및 미세유체의 폭을 조절하는 방법에 관한 것으로, 미세유체 흐름 조절용 칩은, 1) 실리콘 기판상에 알루미늄층을 증착하고, 2) 알루미늄층을 패터닝하여 미세히터를 제작하며, 2) 제작된 미세히터의 전기적 절연을 위하여 SOG 코팅층을 형성하고, 3) SOG 코팅층을 패터닝하며, 4) 미세채널용 몰드를 제작하기 위하여, 상기 실리콘 기판상에 포토레지스트코팅층을 형성하고, 5) 포토레지스크 코팅층의 패터닝하고, 6) 제작된 몰드로 미세채널을 제작하기 위해, PDMS(polydimethyl siloxane)의 내부에 미세채널을 형성하고, 7) 제작된 상기 PDMS를 몰드에서 떼어내는 공정과, PDMS와 실리콘 기판을 접합하여 그 사이에 미세채널을 형성된다.*개발배경본 기술은 공기경계면을 이용해서 미세채널에서의 미세유체의 폭을 조절할 수 있는 미세유체 흐름조절용 칩을 제공함에 있다.*중요성 및 독창성본 기술은 미세유체의 폭을 조절함으로써 세포의 계수나 세포의 정렬로의 응용 방법을 제공하며, 공기경계면을 이용해서 미세채널에서의 미세유체의 폭을 조절할 수 있는 미세유체 폭 조절 방법을 제공한다.*응용분야본 기술은 미세채널에서의 미세유체의 폭 조절은 랩온어칩(lab-on-a-chip), 셀칩(cell-chip)등 미세유체를 운송수단으로 이용하는 기구에서 요구되는 기술로서, 특히, 세포나 미세입자를 미세채널의 특정 영역을 지나 가도록 하는데 필요한 기술로서 응용 가능하다.*특징 및 장점-공기 경계면을 이용한 미세채널에서의 미세유체 폭 조절방법은 세포나 미세입자 또는 미세채널의 구조에 영향을 미치지 않고 구현을 위한 공정이 용이한 점을 장점으로 하는 것으로, 또한 이를 이용하여 미세채널에서 세포나 미세입자의 계수 또는 정렬의 방법으로 응용이 가능할 것으로 기대되는 효과를 갖는다.