일반기술

나노 입자 제조 장치 및 이를 이용한 나노 입자 제조 방법

*원리 및 구성나노 입자 제조 장치 및 이를 이용한 나노 입자의 제조방법에 관한 것으로, 원재료를 수용하기 위한 챔버, 상기 챔버내에 고에너지 전자 가속빔을 주입하는 전자빔 가속기, 상기 챔버 내부를 진공으로 만드는 진공펌프, 상기 챔버 내의 분위기를 조장하는 가스를 주입하는 고압 조절기, 및 생성된 나노 입자를 수집하여 응축하는 냉각판을 구비하는 나노 입자 제조 장치로 구성된다. *개발배경균일한 크기와 형상을 가지며, 고순도의 나노 크기 입자를 대량으로 제조할 수 있는 장치 및 이를 이용한 나노 입자 제조 방법을 제공함에 있다.*중요성 및 독창성본 기술은 제조 공정상 변수들의 제어가 용이하고 고순도의 제품을 생산할 수 있고, 순수한 나노 입자뿐 아니라 챔버 내부를 산화 분위기로 조장함으로써 산화물 나노 입자의 제조에도 응용가능하다.*응용분야본 기술은 산화물 나노 입자의 제조 등에 응용할 수 있다. 또한 나노 공학이 필요한 기타 산업에도 적용 가능하다. 냉각이 필요한 전자, 기계, 기타 산업에 적용 가능하다.*중요성 및 독창성-고에너지 전자 가속빔을 이용하여 원재료를 가열/증발시킴으로써, 단시간 내에 나노 입자의 대량 생산이 가능하고, 제조된 입자의 크기가 균일하며, 형상이 구형에 가깝다. -제조 공정상 변수들의 제어가 용이하고 고순도의 제품을 생산할 수 있다.