일반기술

리가 공정을 이용한 삼각 산맥 구조물과 그 성형틀 제조방법

본 발명은 리가 공정을 이용한 삼각 산맥 구조물과 그 성형틀 제조방법에 관한 것으로, 특히 기판 상부에 X-선 감광제를 접합하고, X-선 투과층 상부에 삼각 산맥 구조물의 영역을 정의하는 X-선을 흡수하는 물질로 이루어진 마스크 패턴을 형성하고, X-선 감광제와 마스크 패턴을 밀착시키고 X-선 투과층에 서로 다른 입사방향의 경사진 각도로 2번 노광을 실시하고, X-선 노광을 한 뒤에 X-선 마스크와 감광제를 분리한 후 X-선 감광제를 현상하여 기판 상부에 삼각산맥 구조물 패턴을 형성하고, X-선 감광제 상부에 시드층을 형성하고 금속층을 두껍게 형성한 후에, 삼각 산맥 구조물 패턴 및 기판을 모두 제거하여 삼각 산맥의 피크 끝 부분이 날카로운 미세 삼각 산맥 구조물의 성형틀을 제작할 수있다. 그리고, 본 발명은 삼각 산맥 구조물의 성형틀에 연성의 성형물질을 붓고 이를 성형한 후에, 성형틀에서 굳은 성형물질을 분리하여 항력을 효율적으로 감쇠시키면서 곡면 등에도 적용할 수 있는 피크가 날카로운 유연한 미세 삼각 산맥 구조물을 제조한다. 또한 금속 물질로 제조된 성형틀은 사출 성형, 압출 성형 또는 핫 엠보싱 공정 등의 금형 공정에 사용할 수 있으므로 금형 공정들을 통해 미세 삼각 산맥 구조물의 대량생산도 가능하다.본 발명은 X-선 사진 식각 공정, 도금 공정, 사출 성형 공정을 포함하는 리가(LIGA) 기술을 이용하여 금속 성형틀을 형성하므로 피크 부분이 날카로운 미세 삼각산맥 구조물을 제작할 수 있을 뿐만 아니라 피크의 각도를 조절할 수 있어 최적화된 삼각 산맥의 형상을 구현할 수 있고 대면적의 성형틀을 만들 수 있다. 게다가 본 발명은 이러한 성형틀을 이용하여 유연한 폴리머로 삼각 산맥 구조물을 성형할 수 있기 때문에 유연한 삼각산맥 구조물을 대량으로 생산할 수 있게 한다. 유연한 구조물 특성에 의해 평평한 부분만 아니라 곡면에도 붙일 수 있어서 삼각 산맥 구조물의 적용범위가 확대된다. 더욱이 성형 물질로서 PDMS와 같이 투명한 물질을 사용할 경우, 삼각 산맥 구조물을 적용하게 되는 물체의 표면상태를 시각적으로 관찰할 수 있는 이점도 있다. 또한, 본 발명은 리가 공정을 이용하여 제작한 성형틀을 금형으로 이용하는 사출 성형, 압출 성형 또는 핫 엠보싱 공정을 실시하여 미세 삼각 산맥 구조물의 대량생산도 가능하다. 한편, 본 발명은 상술한 실시예에 국한되는 것이 아니라 후술되는 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상과 범주내에서 당업자에 의해 여러 가지 변형이 가능하다.