일반기술

대면적 접합제의 진공 접합장치 및 접합방법

본 발명은 대면적 접합재의 진공 접합장치 및 접합방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 면적이 큰 접합재가 밀봉 상태로 장입되도록 얇은 금속 시트로 제작된 진공 챔버와, 접합재를 가열하도록 진공 챔버둘레에 설치된 발열체를 구성하여, 진공 챔버 내에서 접합재를 접합하는 조건에 따라 진공 챔버를 이루는 금속시트의 종류 및 두께를 달리할 수 있고, 접합재의 크기나 형태에 따라 진공챔버의 크기와 발열체의 설치 상태를 임의로 변경할 수 있으므로 대면적 접합재의 접합을 보다 용이하게 하는 대면적 접합재의 진공 접합장치 및 접합방법을 제공한다.종래의 진공 접합방법은 진공 챔버 내부에 발열체를 두고 접합재를 발열체 사이에 위치시킨 후 진공 상태에서 열과 압력을 가하여 접합하는 방법이다. 그런데 이러한 종래의 진공 접합방법은 진공 챔버의 내부에 발열체, 이들을 지지하는 각종 프레임 등이 모두 기계적으로 구성되어 있어 진공 챔버 내부에서 진공 접합할 수 있는 접합재의 크기는 실질적으로 상당히 제한적일 수밖에 없는 문제점이 있었다. 뿐만 아니라, 면적이 큰 접합재를 진공 접합하기 위해 그에 맞는 진공 챔버, 더 나아가서 진공 접합장치를 설계하는 것은 장비의 대형화 및 비용 증대로 인해 실현에 상당한 부담이 따르는 문제점도 있다.또한 면적이 큰 접합재에 열을 고루 가하는 데 있어서도 상당한 문제점을 가지고 있는데, 접합재에 열을 가하는 발열체가 진공 챔버의 내부에 고정되어 있어 접합재의 형태 또는 크기 등이 약간이라도 다르면 접합재 전체를 균일하게 가열하지 못하게 된다. 이러한 진공 접합장치는 원형의 챔버 내부에 박스 형태의 지지 프레임이 설치되는데, 프레임의 내부 임의의 위치에는 발열체가 장착되며, 프레임 내주면 바닥에 접합할 재료를 놓을 수 있는 지지판이 설치되고, 프레임 내주면 상단에는 지지판 위에 놓여진 접합재를 가압하기 위한 가압장치가 설치되어 있다. 그런데 이와 같이 구성된 종래의 진공 접합장치는 외형을 이루는 챔버나 지지 프레임이 일정한 크기를 가지고 있으므로 접합재의 크기가 제한되고, 발열체가 지지 프레임에 고정되어 있어 발열체로부터 접합재에 전달되는 열이 균일하지 못한 문제점이 있다. 이에 대면적 접합재의 접합 효율을 높이기 위해 아르곤 용접, 이빔 용접, 레이져 용접 등이 제안되고 있으나, 아르곤 용접은 작업이 용이하고 접합재의 크기 제한이 없는 반면에 용접 품질이 떨어지고, 이빔 및 레이져 용접은 품질은 우수하지만 고가의 설비 투자가 요구되고 접합재의 형상 및 크기에 제한이 따르는 문제점이 있다.