일반기술

CNT 기반의 고휘도, 고효율, 콤팩트 X-ray Vision Inspection System

탄소나노튜브(CNT) 를 이용한 X-ray로 영상을 획득하여 이런 기존 X-ray 검출장치의 효율을 향상시키기 위하여 개발한 것이다. 종래에 정밀기기 및 반도체소자 등의 불량 및 결함계측에 사용되는 산업용 X-ray 검출장비의 문제점을 해결할 수 있는 기술로서 신개념의 CNT X-ray 광원과 Digital X-ray 영상검출기를 이용한 시스템이다. 본 기술에서는 최적의 CNT X-ray의 열전자 방출장치 설계조건의 도출, CNT X-ray의 열전자 방출장치의 제작, X-ray 영상획득 시험조건 도출 등의 3가지 부문에서 세계적인 수준의 핵심기술도 개발하였다. CNT를 이용한 X-ray 영상획득은 미국, 일본에 이어 세계에서 3번째로 기존의 산업 및 의료용 X-ray 시장에 있어 대체효과 및 획기적인 가치창출이 기대되고 있다.-기존의 엑스선 광원장치는 전자 방출 시 2,000도 이상의 높은 열로 인하여 X-ray광원의 수명이 길지 않았고, 방출전자 분포가 불균일 해 영상의 분해능력과 해상력이 상당히 낯은 단점이 있지만, CNT를 토대로 한 X-ray광원은 전력의 소비가 기존에 비해 월등히 감소하면서도 전자방출효율이 우수해 전자집속, 엑스선의 품질과 분해능력이 우수하다. -기존의 모든 X-ray튜브와는 달리 CNT만 모듈화하여, CNT 만 교체하면 재사용할 수 있으므로 반영구적으로 사용할 수 있다. -소형의 Digital Inspection System 을 개발할 수 있으며, 이동식도 가능하므로 향후 전세계의 X-ray시장을 석권할 수 있는 제품의 핵심역량을 가지고 있다.