일반기술

접촉식 전기용량형 센서

*원리 및 구성미소선형변위의 측정을 위한 접촉식 전기용량형 센서에 관한 기술로서, 고정물체상에 전도성패턴이 형성되고 전도성패턴을 균일하게 코팅한 절연막을 포함하는 고정요소, 이동물체상에 전도성패턴이 형성되고 전도성패턴을 균일하게 코팅한 절연막을 포함하며 절연막이 고정요소의 절연막과 맞닿게 배치되는 이동요소로 구성되어 구동방향과 측정방향이 일치하므로 구성시 공간절감을 이룰 수 있고, 미소변위의 측정은 물론 넓은 범위의 변위측정도 안정적이다.*개발배경기계적 설치오차 및 구동방향과 측정방향의 불일치로 인한 오차를 줄이고, 미소변위의 측정은 물론 넓은 범위의 변위측정도 안정적으로 가능하며, 구동방향과 측정방향이 일치하여 구성시 공간절감을 이룰 수 있는 면적변화 측정 방식의 접촉식 전기용량형 센서를 제공함에 있다. *중요성 및 독창성구동방향과 측정방향이 일치하므로 구성시 공간절감을 이룰 수 있고, 미소변위의 측정은 물론 넓은 범위의 변위측정도안정적으로 가능하여, 종국적으로 전반적인 성능이 대폭 향상되는 효과가 있다.*응용분야미소선형변위의 측정을 위한 전기용량형 센서(electric capacitive displacement sensor)에 응용될 수 있다.*특징 및 장점면적변화 측정 방식의 접촉식 전기용량형 센서가 제공되게 되어, 기계적 설치오차 및 구동방향과 측정 방향의 불일치로 인한 오차를 줄일 수 있고 구동방향 이외의 변위오차가 포함될 여지가 없어 신뢰성 높은 측정이 가능한 장점이 있다.