일반기술

정전력을 이용한 초소형 그리퍼

*원리 및 구성작은 물체를 이동 및 조립 할 수 있는 초소형 그리퍼(micro gripper)에 관한 것으로서, 1)대상물체를 정전기력으로 고정하기 위하여 동일 기판위에서 제조된 외부전극 및 내부전극, 2)내부전극의 움직임이 가능하도록 상기 기판과 연결되어 내부전극을 지지하는 적어도 하나 이상의 탄성지지체, 3)내부 전극을 대상 물체로부터 소정 거리 이동시켜 상기 대상 물체를 원하는 위치에 놓기 위하여 기판에 상기 외부전극 및 내부전극과 같이 형성된 초소형 액츄에이터로 구성된다. *개발배경초소형기계가공기술을 이용하여 제조될 수 있는 정전력을 이용한 초소형 그리퍼를 제공함에 있다.*중요성 및 독창성본 기술은 MEMS기술을 이용하여 정전형 초소형 그리퍼를 제작하므로 그리퍼를 소형화 및 대량생산 할 수 있으며, 이를 배열배치(arrayed microgripper) 할 수 있으므로 그리퍼 어셈블리의 속도 및 가격을 낮출 수 있는 효과를 가지고 있다.*응용분야본 기술은 초소형 시스템의 제조 및 응용 기술에 적용이 가능하다.*특징 및 장점-센서, 액츄에이터, 신호처리 칩 등 작은 대상물체를 같은 기판상에서 제조된 외부전극 및 내부전극으로부터 발생한 정전기력을 이용하여 잡고, 원하는 위치에서 정전력을 제거함과 동시에 내부전극을 외부전극 및 내부 전극과 같은 기판에서 동시에 제조된 초소형 액츄에이터를 이용하여 멀리 이동시켜 대상물체를 놓음으로서 작은 물체를 잡을 때 발생하는 점착현상을 제거할 수 있는 효과가 있다. -초소형기계가공기술을 이용하여 제조되는 정전형 그리퍼는 동일 기판위에서 동시에 여러개를 제작할 수 있으므로 그리퍼 생산원가를 절감할 수 있으며 제작된 초소형 그리퍼를 배열배치하여 동시에 여러개의 대상 물체를 이동하여 초소형 어셈블리의 속도 및 원가를 낮출 수 있는 효과가 있다.