일반기술
고효율 고성능 스퍼트링 캐소드 제작 및 개발
디스플레이, 반도체 및 전자제품의 제작공정에 필수적인 캐소드 제작 공급, 박막공정에 대한 기술지도 사업의 2개 사업추진, 종래의 타렌玲潤오꼭20% 에서 40% 이상으로 향상시키고, 박막형성속도를 종래보다 30%이상 향상시킴으로서 제조비절감 및 생산성향상 분야에서 세계제일의 기술 지향함.디스플레이, 반도체 및 전자제품의 제작공정에 필수적인 캐소드 제작 공급, 박막공정에 대한 기술지도 사업의 2개 사업추진, 종래의 타렌玲潤오꼭20% 에서 40% 이상으로 향상시키고, 박막형성속도를 종래보다 30%이상 향상시킴으로서 제조비절감 및 생산성향상 분야에서 세계제일의 기술 지향함.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 기타 재료
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2006-04-07
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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