일반기술

반도체 팩키지 검사용 핸들러 장치

본 기술은 반도체를 검사하여 그 상태에 따라 분류하고 적재하는 핸들러 장치에 관한 기술이다. 본 기술의 반도체 검사용 핸들러 장치는, 검사가 필요한 반도체 패키지를 탑재한 트레이가 공급 스테이션에 제공되고, 반도체 팩키지가 소진된 이후에 비어 있는 트레이가 대기 상태로 변환되며, 트레이의 검사가 끝난 반도체 패키지의 분류를 위해서 여러개의 분류 스테이션이 제공되고, 이렇게 분류할 때 제1축과, 제1축의 길이방향으로 이동 가능하며 제1축에 대해서 직각으로 설치된 제2축과, 제1축의 길이방향으로 이동 가능하며 제1축에 대해서 직각으로 설치된 제3축, 그리고 제1흡착 노즐 헤드 및 제2흡착 노즐 헤드를 구비한 제2로보트 등이 설치된다. 위와 같은 구성에 의해서 효율적이고 생산적인 작업이 가능하고, 반도체 패키지 가열, 검사 수행, 검사 결과에 따른 분류 작업 등이 효율적으로 이루어 질 수 있다.반도체 제조 공정에서는 반도체 패키지 제조의 마지막 단계에서 반도체의 조립상태를 검사하고, 불량 여부에 따라 반도체를 등급별로 분류하는 공정이 구비된다. 반도체 검사는 검사장치를 통해서 이루어지며, 검사 장치를 통해 판단된 반도체 팩키지의 상태에 따라서 다양한 등급으로 분류된다. 이러한 반도체 패키지 검사 및, 분류를 수행하는 장치에 있어서 반도체 패키지를 흡착하거나 이동시키는 장치들의 속도가 상대적으로 느려 신속하고 정확한 검사가 이루어지지 않았다. 즉, 히터 블록에서 가열된 이후에 검사 스테이션에서 소정의 검사를 받고 그 검사 결과에 따라서 각각의 등급별 트레이로 분류되어야 하는데, 각 단계 별로 이동하는 거리가 길고, 그러한 거리를 극복하기 위한 이송장치들의 속도가 느려서 효율적인 작업수행이 곤란하다는 것이다. 본 기술은 기술개요에 기재된 것과 같은 구성을 갖도록 반도체 팩키지 검사용 핸들러 장치를 제조함으로서, 반도체 팩키지 검사를 수행할 때, 각 단계별로 신속하게 반도체 패키지를 이동시킬 수 있는 장점이 있으며, 공간의 활용이 집약적으로 이루어지므로 생산성이 향상된다는 특징이 있다.